產(chǎn)品概述:
操作簡易,功能強大
新型并且功能強大的 FE-SEM,集超高分辨率成像和強化的分析功能于一體。
產(chǎn)品特點:
- 分辨率:GB 模式下為1.5 nm (1 kV),1.0 nm(15 kV)
- 速電壓: 0. 1kV to 30 kV
- 放大倍數(shù): 25到1,000,000x
- 可與冷場FEG SEM媲美的超高分辨率成像在GB 模式下為1.5 nm(1 kV),1.0 nm (15 kV)
- In-lens 熱場 FE 槍
- 束光闌角控制鏡,不管束流大小,均可獲得的電子束照射。
- 電流 200 nA(15 kV)時的分析能力可以支持各種類型的樣品分析(WDS、EDS等)
- γ過濾器能控制能量選擇或二次電子及背散射電子像的圖像混和率
- 柔和光束模式可將電子束對超表面成像引起的損傷降低到程度
- 節(jié)能并且環(huán)保
一般數(shù)據(jù) | |
SEI 分辨率? | 1.5 nm(1 kV)(在GB 模式下),1.0 nm(15 kV) |
放大倍數(shù) | 25 到 1,000,000x |
加速電壓 | 0.1 到 30 kV |
束流 | 1 pA 到 200 nA(15 kV時) |
光闌角控制鏡 | 內(nèi)置 |
探測器 | 上方和下方探測器 |
能量過濾器 | 新型γ過濾器 |
柔和光束 | 內(nèi)置 |
數(shù)字圖像 | 1,280 x 960,2,560 x 1,920, 5,120 x 3,840 |
樣品交換室 | 單步加載/卸載 |
樣品臺 | 全對中,5軸馬達(dá)驅(qū)動 |
類型 | IA | II | III |
X-Y ? | 70 mm x 50 mm | 110 mm x 80 mm | 140 mm x 80 mm |
傾斜 | -5 到 +70° | ||
旋轉(zhuǎn) | 360° | ||
工作距離 | 1.5 mm 到 25 mm | ||
真空系統(tǒng) | 2 SIPs,磁懸浮軸承 TMP、RP | ||
節(jié)能設(shè)計 | 正常運行:1.2 kVA 休眠模式:1 kVA 操作系統(tǒng)關(guān)閉(OFF):0.76 kVA |