AccuSizer A9000 FXnano-AD 自動稀釋納米大顆粒計數(shù)器 專為納米級樣本提供粒度計數(shù)方案 |
基本信息 Basic Information |
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儀器型號:AccuSizer A9000 FXnano-AD
工作原理:基于光阻法的集聚光束技術(shù)(Focused Light Obscuration&SPOS)
檢測范圍:0.15 μm – 200 μm
AccuSizer A9000 FXnano-AD自動稀釋納米大顆粒計數(shù)器的集聚光束光阻技術(shù)(Focused Light Obscuration)是在傳統(tǒng)單LE光阻傳感器的單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)的基礎(chǔ)上加入了FXnano傳感器。雙傳感器同時運行的情況下,檢測下限由原來的0.5μm下探至0.15μm,使得該儀器在大顆粒檢測領(lǐng)域的應(yīng)用更加的廣泛。
FX系列傳感器,采用集聚光束技術(shù),通過探測區(qū)域性的粒徑分布和濃度,計算出整體的濃度。雙檢測器搭配,可真實的對大量粒子樣本進行粒徑測試并計數(shù),樣品濃度達到1012#/ml,粒徑檢測范圍0.15 μm – 200 μm。
大量試驗顯示FXnano-AD在測量蛋白質(zhì)聚集(Protein Aggregation)及化學(xué)研磨液分布(CMP Slurry)上對粒徑的檢測要比傳統(tǒng)的激光衍射法其靈敏度要高1,500到25,000倍,且避免了人工稀釋帶來的誤差,給用戶提供了方便。此款儀器可以應(yīng)用在半導(dǎo)體、藥物蛋白等行業(yè),超低的測試粒徑下限及較高的測試濃度上限可滿足客戶的檢測需求。
技術(shù)優(yōu)勢
Technical Advantages
1、檢測范圍廣 0.15μm-200μm;
2、樣品檢測濃度上線高可達1012 顆/mL
3、粒子靈敏度 ≤10PPT
4、粒徑準確度 ≥98%
5、粒子計數(shù)準確度 ≥90%
6、可自定義32個用戶自定義檢測通道;
7、同時搭載FXnano及LE雙傳感器檢測;
8、集自動稀釋、自動檢測、數(shù)據(jù)處理以及自動清洗等自動化功能與一身;
9、數(shù)據(jù)結(jié)果以多種形式和格式呈現(xiàn);
10、模塊化設(shè)計,便于升級及維護;
超高精準度
Ultra high accuracy
AccuSizer A9000 FXnano-AD自動稀釋納米大顆粒計數(shù)器擁有高精確度,能準確測量樣品的粒徑分布和顆粒濃度,在比較樣品的過濾效率、影響因素等方面起到巨大的作用。
超高分辨率
Ultra High Resolution
高通道的優(yōu)勢換來的是高分辨率的優(yōu)勢。所謂分辨率,在這里指的是分辨同一體系內(nèi)不同粒徑大小的能力。得益于超前的設(shè)計理念和軟硬件組合,AccuSizer 780系列儀器除了能夠呈現(xiàn)不同于經(jīng)典光散射的顆粒計數(shù)分布外,相對于經(jīng)典的電阻法和光阻法,具有更高的分辨率和精準性。它不會錯過任何“尾部” 大顆粒,而這些“尾部”大顆粒往往是決定產(chǎn)品好壞的標準。如右圖所示,同一個樣本中混合0.7μm,0.8μm,1.3μm,2μm,5μm,10μm,15μm,20μm,50μm,100μm,200μm 11種標準PSL粒子,AccuSizer 780可以很容易將每種不同大小的標粒區(qū)分清楚。
右圖展示了同一個樣本在SPOS技術(shù)和激光衍射法(Laser diffraction,LD)粒度儀中測得的結(jié)果。樣本使用的是過400目篩(37μm)的樣本。SPOS技術(shù)(綠色線)顯示在35μm以上是沒有粒子的,這和實際情況相符。但是使用LD檢測得到的僅僅是“相似”的分布,但是在100μm本來沒有顆粒的情況下卻給出了還有大量大顆粒的假性結(jié)果。
單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)(Single Particle Optical Sizing, SPOS)是一種用于測量溶劑中懸浮粒子的大小和數(shù)量濃度的激光粒度檢測通用技術(shù)。在SPOS技術(shù)中液體懸浮液中的粒子流經(jīng)傳感器的樣品池時,在激光光源的照射下,被阻擋或者被散射的光會轉(zhuǎn)變成脈沖電壓信號,脈沖信號的大小是由粒子的截面面積和物理判定規(guī)則即光散射或者光阻共同決定的。光阻也被稱為不透光度或者光消減。而粒子間的相互阻擋和散射是和粒子的大小和濃度是有關(guān)系的,利用脈沖幅度分析器和校準曲線便可以得到懸浮粒子的數(shù)量濃度和粒度大小分布。傳統(tǒng)光阻法可以測得1.5μm以上的粒子和并具有較高的分辨率。
單顆粒傳感技術(shù)(SPOS)常見粒度儀檢測技術(shù)在檢測粒徑分布中的重要不足—粒子數(shù)量的統(tǒng)計。自AccuSizer 780系列儀器誕生,以往以犧牲精確性和分辨率來換取檢測速度和易用的歷史一去不復(fù)返!
傳統(tǒng)光阻法與光散射法原理
LE & LS
圖1為光阻法檢測原理圖,待測液體流過橫截面很小的流通池,流通池兩側(cè)裝有光學(xué)玻璃,激光器的光束通過透鏡組準直,光束穿過流通池并被光電探測器所接收。若待測液體中沒有顆粒,則光電探測器接收到的光信號穩(wěn)定不變,輸出的電壓信號也恒定,將此恒定信號作為基準電壓;若液體中有顆粒物質(zhì),顆粒通過流通池傳感區(qū)域,將會遮擋激光,光電探測器接收到的光信號減小,產(chǎn)生一個負的脈沖電信號,如下圖2所示。
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圖一:光阻法檢測示意圖 | 圖二:光電二極管信號 |
脈沖信號幅度與基準電壓信號有如下關(guān)系:
上式中:E為顆粒遮擋引起的脈沖幅度;a為顆粒的有效遮擋面積(等效為球形πd2/4);A為光電探測器的有效面積;E0是沒有顆粒時的光電探測器所產(chǎn)生的基準電壓。因此,脈沖信號幅度對應(yīng)顆粒的大小,脈沖信號個數(shù)對應(yīng)顆粒的數(shù)量。
圖三:光散射法檢測原理圖
圖3為光散射法檢測原理圖,待測液體流過流通池,流通池兩側(cè)裝有光學(xué)玻璃,激光器的光束通過透鏡組準直,光束穿過流通池,照射在光陷進上。若待測液體中沒有顆粒,則光電探測器就收不到光信號,若液體中有顆粒,顆粒通過流通池,與激光光束發(fā)生散射現(xiàn)象。某一個(或幾個)角度下的散射光通過透鏡收集匯聚到光電探測器上,產(chǎn)生正的電信號脈沖,脈沖信號的幅度和散射光強成正比。根據(jù)信號的幅度和個數(shù)可以對液體中的微小顆粒進行計數(shù)檢測。
單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)(SPOS)
Single particle optical sensing
經(jīng)過光感區(qū)域的粒子由于大小不同,光強隨之產(chǎn)生相應(yīng)的變化。將探測器收集的光信號轉(zhuǎn)換成電壓信號,不同的電壓信號對應(yīng)不同的粒徑大小,從而得到微粒的粒徑。美國PSS粒度儀公司(Particle Sizing Systems)的單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)(Single Particle Optical Sizing,SPOS)是在傳統(tǒng)光阻法(LE)大顆粒光學(xué)傳感技術(shù)的基礎(chǔ)上加入了激光散射模塊(LS)。在兩個模塊(LE+LS)同時運行的情況下,檢測下限由原來純光阻的1.5μm下探至0.5μm。使得其在大顆粒檢測領(lǐng)域的應(yīng)用更加的廣泛。
SPOS技術(shù)對粒子的信號響應(yīng)方式是信號與特定粒子相對應(yīng)的。AccuSizer 780系列儀器中的傳感器通過兩種不同性質(zhì)的物理作用(磚利):光消減(light extinction, LE)與光散射(light scattering, LS)對通過傳感器的粒子進行測定。光消減技術(shù)檢測通過流動池的光強變化,擁有檢測粒子的粒徑范圍廣且與粒子組份無關(guān)等優(yōu)點。然而,它的靈敏度有限。另一方面,光散射技術(shù)具有相對窄的動態(tài)粒徑范圍 (取決于檢測器/放大器的飽和值),但能檢測到小粒徑的粒子,使用大功率激光光源還能檢測到粒徑更小的粒子。通過合并光消減和光散射響應(yīng)信號,傳感器可同時擁有這兩種方法的優(yōu)點,因而在不損失單粒子分辨率巨大優(yōu)勢的前提下?lián)碛邢鄬^廣的動態(tài)粒徑范圍。
集聚光束技術(shù)
Focused Beam Technology
集聚光束技術(shù)儀器采用雙傳感器檢測。
LE系列傳感器采用單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)(SPOS):該技術(shù)是一種用于測量溶劑中懸浮粒子的尺寸和濃度的激光粒度檢測通用技術(shù)。在SPOS技術(shù)中液體懸浮液中的粒子流經(jīng)傳感器的樣品池時,在激光光源的照射下,被阻擋或者被散射的光會轉(zhuǎn)變成脈沖電壓信號,脈沖信號的大小是由粒子的截面面積和物理判定規(guī)則即光散射或者光阻共同決定的。光阻也被稱為不透光度或者光消減。而粒子間的相互阻擋和散射是和粒子的大小和濃度是有關(guān)系的,利用脈沖幅度分析器和校準曲線便可以得到懸浮粒子的濃度和粒子大小的分布。
FX系列傳感器采用集聚光束技術(shù)(Focused Light Obscuration):該技術(shù)在測量高濃度樣品上具有的優(yōu)勢。樣品均勻分布在傳感器的樣品池中,激光僅照射到樣品的一部分,探測區(qū)域中的入射光被粒子阻擋和散射,光強信號轉(zhuǎn)變成脈沖電壓信號,脈沖電壓的高度取決于粒子的大小和通過光束的距離,通過去卷積計算將得到的脈沖分布轉(zhuǎn)變成粒徑分布。得到樣品的照射區(qū)域的粒徑分布后,通過計算放大倍數(shù),從而得到樣品的整體粒徑分布。集聚光束技術(shù)通過大幅度消減照射區(qū)域(view volume),從而擴大檢測濃度范圍,降低檢測粒徑下限,已成為一項技術(shù)。
粒徑檢測范圍 0.15-200μm
分析方法 可集聚光束的光阻法(基于單顆粒光學(xué)傳感技術(shù))
樣品類型 水相/有機相
通道數(shù)量 64 通道
流速范圍 15ml/min
最小進樣體積 0.2 ml
進樣方式 自動/手動進樣
Chamber 15 mL
濃度極限 1012 顆粒子/毫升
符合標準 CE
流速準確性 ±5%
體積準確性 ±5%
粒徑準確性 ±2%
計數(shù)準確性 ±10%
磁力攪拌模塊 標準配置
機械攪拌模塊 可選配
分析軟件 研發(fā)版分析軟件
電壓 220 – 240 VAC,50Hz 或100 – 120 VAC,60Hz
計算機配置 要求Windows 7及以上版本windows操作系統(tǒng)
外形尺寸 數(shù)據(jù)處理器:48 cm * 36 cm * 19 cm;進樣器:49 cm * 28 cm * 57 cm
重量 約30kg
傳感器
提供了寬泛的測量范圍,客戶可以根據(jù)自己實際需要,選擇適合自己樣品的測量范圍的傳感器
Chambe&轉(zhuǎn)子
&轉(zhuǎn)子r
由高凈石英加工,并配合PFA上、下蓋實現(xiàn)樣品一步精確的靜態(tài)稀釋;并可視化跟蹤樣品的實時狀態(tài);光凈的內(nèi)表面實現(xiàn)高效率的快速清洗;標配PFA外衣的磁力攪拌子,實現(xiàn)靜態(tài)稀釋過程中樣品的快速分散,稀釋過程中被稀釋樣品的穩(wěn)定均一;
PFA 管路
根據(jù)樣品量的不同,選用不同管徑的高凈PFA管,可以滿足從毫升到微升的測樣需求
磁力攪拌模塊
配備可調(diào)速式攪拌臺,無需人工攪拌
Millipore定制0.2μm過濾器
滿足藥典對稀釋劑中不溶性微粒數(shù)量的要求,減少由于背景給測量結(jié)果帶來的負面影響;
注射泵
配備步進電機驅(qū)動的超高精度注射泵,實現(xiàn)對樣品采集的精確控制以及超長的使用壽命
Cable 數(shù)據(jù)線套裝
Counter與Sensor、Sampler的連接采用航空級鋁制插頭,實現(xiàn)超長使用壽命及超高的通訊穩(wěn)定性
清洗套件
傳感器Flow cell專用清洗套裝,保證在長期使用之后可以恢復(fù)清潔狀態(tài);
性能確認用標粒
采用符合NIST的進口標準粒子對設(shè)備進行性能確認
蛋白質(zhì)
蛋白質(zhì)是由氨基酸以“脫水縮合”方式組成的多肽鏈經(jīng)過盤曲折疊形成的具有一定空間結(jié)構(gòu)的物質(zhì),用來為人體的生命活動提供能量。藥用蛋白一般為了方便運輸常冷凍干燥成粉末進行儲存,注射前再重組。蛋白質(zhì)聚集后注入人體會具有潛在的免疫原性,誘導(dǎo)人體產(chǎn)生抗藥物抗體,因此需要對粒徑分布和顆粒濃度進行嚴格把控。
化學(xué)機械拋光液(CMP SLURRY)
化學(xué)機械拋光是半導(dǎo)體制造加工過程中的重要步驟?;瘜W(xué)機械拋光液是由腐蝕性的化學(xué)組分和磨料(通常是氧化鋁、二氧化硅或氧化鈰)兩部分組成。拋光過程很大程度上取決于晶片表面構(gòu)型。晶片的加工誤差通常以埃計,對晶片質(zhì)量至關(guān)重要。拋光液粒度越均勻、不聚集成膠則越有利于化學(xué)機械拋光加工過程的順利進行。
尊敬的用戶您好,在對儀器還不了解的情況下,為了讓您可以選擇一款適合貴單位的設(shè)備,可以先寄送樣品到我們公司,由我們的技術(shù)人員幫您測試樣品,并將測試結(jié)果和數(shù)據(jù)報告發(fā)送到您郵箱或者將紙質(zhì)版寄送到貴單位。
下方鏈接是測試申請表,請下載填寫完整后隨樣品一起寄送過來。