ZHDF獨立支撐氣浮隔振光學(xué)平臺

應(yīng)用領(lǐng)域：

適合于高倍數(shù)電子顯微鏡、掃描探針顯微鏡、激光干涉儀、激光共聚焦顯微鏡等領(lǐng)域應(yīng)用

產(chǎn)品特點：

■中弘精密依托于光電子產(chǎn)業(yè)科研工作人員，研發(fā)制造的一款通用性隔振光學(xué)平臺，能夠滿足精密負(fù)載對振動隔離需求，且面向大多數(shù)設(shè)備儀器提供通用化隔振解決方案，改善振動環(huán)境，以發(fā)揮設(shè)備儀器的效能。

■優(yōu)異的隔振性能：內(nèi)置精密空氣彈簧隔振系統(tǒng)，具備優(yōu)秀的固有頻率，對多個方向的振動尤其是垂直方向有著良好衰減效果，避免外界振動干擾設(shè)備儀器精度，提高儀器設(shè)備使用精度和使用效率。

■自動調(diào)節(jié)水平功能：放置負(fù)載的位置發(fā)生變化，平臺迅速通過高精度閥門自動調(diào)整空氣彈簧內(nèi)部的氣壓，自動保持水平。氣動元器件全部執(zhí)行德國FESTO產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)，標(biāo)配優(yōu)質(zhì)壓縮機(jī)。

■臺板采用蜂窩芯夾板結(jié)構(gòu),具有重量輕、高剛度、高阻尼等優(yōu)點，上面板為1cr17優(yōu)質(zhì)高導(dǎo)磁不銹鋼，經(jīng)精密研磨處理，平面度高，回旋打磨工藝清除毛邊，達(dá)到無反射、亞光效果，面板具有M6螺孔陣列，易于固定光學(xué)元件。

■隔振支撐為優(yōu)質(zhì)鋼管焊接而成，整體堅固可靠。

■工作壓力為0.35～0.6Mpa，標(biāo)準(zhǔn)配置調(diào)壓過濾閥將保證空氣彈簧的長期有效工作，用戶只需要將氣管連接進(jìn)氣口，就能使裝置正常發(fā)揮隔振功能，氣源可通過小型空氣壓縮機(jī)或氮氣瓶供給，便于在安靜場合使用。

技術(shù)指標(biāo)：

■平面度：< 0.05mm/m2

■表面粗糙度：< 0.8μm
■固有頻率；x方向：1.2Hz～2.0Hz y方向：1.2Hz～2.0Hz

■減振效率：x方向＜5Hz時：88%～94% y方向＜5Hz時：86%～92%

x方向＜10Hz時：92%～98% y方向＜10Hz時：90%～95%

■振幅：< 1μm

■荷載能力：500kg/m2

■重復(fù)定位精度：±0.05mm

產(chǎn)品選型表：