儀器型號(hào):FMS AccuSizer 780 OL-AD
工作原理:單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)(Single Particle Optical Sizing,SPOS)
檢測(cè)范圍: 0.5 μm – 400 μm / 0.15μm - 20 μm
FMS AccuSizer 780 OL-AD 在線顆粒計(jì)數(shù)器使用基于光阻法的單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)(SPOS)原理,對(duì)檢測(cè)樣本不僅僅可以給出粒度分布(PSD),更可以獲得顆粒數(shù)量(COUNT)。在線設(shè)備可以提供更加快捷、有效的實(shí)時(shí)監(jiān)控,但對(duì)于高濃度的樣本往往超出常規(guī)傳感器的檢測(cè)限。新型FMS AccuSizer 780 OL-AD(Online-Auto Dilution)在線顆粒計(jì)數(shù)器在AccuSizer 780 APS的基礎(chǔ)上進(jìn)行改良升級(jí),利用的自動(dòng)稀釋系統(tǒng),又增加了自動(dòng)進(jìn)樣系統(tǒng)。在很多行業(yè)中有20多年的成熟應(yīng)用經(jīng)驗(yàn),比如CMP制程中的Slurry(研磨液)監(jiān)控。
醫(yī)藥行業(yè)中液體制劑其粒度分布是影響其產(chǎn)品最重要的因素之一。傳統(tǒng)方法都是取樣進(jìn)行離線監(jiān)測(cè),但是造成的問題是一旦產(chǎn)品檢測(cè)質(zhì)量不合格,造成損耗巨大。PSS在線粒度儀可以解決此類問題,將顆粒檢測(cè)融入在線監(jiān)測(cè)中,只放行合格樣品。
AccuSizer 780online 中加入了PSS的自動(dòng)稀釋功能,可將用戶生產(chǎn)線上的任一濃度的樣品稀釋為SPOS傳感器的有效檢測(cè)范圍,其得到檢測(cè)結(jié)果可還原至初始濃度的狀態(tài),還能與實(shí)驗(yàn)室的觸動(dòng)額檢測(cè)結(jié)果做比較。780Online為廣大的生產(chǎn)型企業(yè)進(jìn)行膠體懸浮液、分散體在線粒徑檢測(cè)和監(jiān)控的。安裝簡便、易于操作,不僅提供780APS的所有自動(dòng)檢測(cè)功能,而且擁有自動(dòng)定時(shí)取樣。及時(shí)報(bào)警以及光比供應(yīng)系統(tǒng)等在線功能,確保生產(chǎn)線中分散體系品質(zhì)的穩(wěn)定
技術(shù)優(yōu)勢(shì)
在線數(shù)據(jù)和實(shí)驗(yàn)室型機(jī)臺(tái)數(shù)據(jù)一脈相承;
結(jié)果數(shù)據(jù)可以多種形式和格式呈現(xiàn);
模塊化設(shè)計(jì)便于維護(hù)和升級(jí);
自動(dòng)稀釋模塊;
自動(dòng)進(jìn)樣系統(tǒng);
工作原理
目錄結(jié)構(gòu):
1.單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)簡介
2.傳統(tǒng)光阻法和光散法測(cè)量粒度的原理
3.PSS的SPOS技術(shù)介紹
4.的自動(dòng)稀釋原理介紹
5.在線測(cè)量原理簡圖
1、單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)簡介
單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)(Single Particle Optical Sizing, SPOS)是一種用于測(cè)量溶劑中懸浮粒子的大小和數(shù)量濃度的激光粒度檢測(cè)通用技術(shù)。在SPOS技術(shù)中液體懸浮液中的粒子流經(jīng)傳感器的樣品池時(shí),在激光光源的照射下,被阻擋或者被散射的光會(huì)轉(zhuǎn)變成脈沖電壓信號(hào),脈沖信號(hào)的大小是由粒子的截面面積和物理判定規(guī)則即光散射或者光阻共同決定的。光阻也被稱為不透光度或者光消減。而粒子間的相互阻擋和散射是和粒子的大小和濃度是有關(guān)系的,利用脈沖幅度分析器和校準(zhǔn)曲線便可以得到懸浮粒子的數(shù)量濃度和粒度大小分布。傳統(tǒng)光阻法可以測(cè)得1.5μm以上的粒子和并具有較高的分辨率。
單顆粒傳感技術(shù)(SPOS)常見粒度儀檢測(cè)技術(shù)在檢測(cè)粒徑分布中的重要不足—粒子數(shù)量的統(tǒng)計(jì)。自AccuSizer 780系列儀器誕生,以往以犧牲精確性和分辨率來換取檢測(cè)速度和易用的歷史一去不復(fù)返!
粒粒皆清楚,不丟失任何細(xì)節(jié)。
2.傳統(tǒng)光阻法與光散射法原理
Figure 1 光阻法檢測(cè)示意圖
圖1為光阻法檢測(cè)原理圖,待測(cè)液體流過橫截面很小的流通池,流通池兩側(cè)裝有光學(xué)玻璃,激光器的光束通過透鏡組準(zhǔn)直,光束穿過流通池并被光電探測(cè)器所接收。若待測(cè)液體中沒有顆粒,則光電探測(cè)器接收到的光信號(hào)穩(wěn)定不變,輸出的電壓信號(hào)也恒定,將此恒定信號(hào)作為基準(zhǔn)電壓;若液體中有顆粒物質(zhì),顆粒通過流通池傳感區(qū)域,將會(huì)遮擋激光,光電探測(cè)器接收到的光信號(hào)減小,產(chǎn)生一個(gè)負(fù)的脈沖電信號(hào),如下圖2所示。
Figure 2 光電二極管信號(hào)
脈沖信號(hào)幅度與基準(zhǔn)電壓信號(hào)有如下關(guān)系:
(1)
式(1)中:E為顆粒遮擋引起的脈沖幅度;a為顆粒的有效遮擋面積(等效為球形);A為光電探測(cè)器的有效面積;E0是沒有顆粒時(shí)的光電探測(cè)器所產(chǎn)生的基準(zhǔn)電壓。因此,脈沖信號(hào)幅度對(duì)應(yīng)顆粒的大小,脈沖信號(hào)個(gè)數(shù)對(duì)應(yīng)顆粒的數(shù)量。
Figure 3 光散射法檢測(cè)原理圖
圖3為光散射法檢測(cè)原理圖,待測(cè)液體流過流通池,流通池兩側(cè)裝有光學(xué)玻璃,激光器的光束通過透鏡組準(zhǔn)直,光束穿過流通池,照射在光陷進(jìn)上。若待測(cè)液體中沒有顆粒,則光電探測(cè)器就收不到光信號(hào),若液體中有顆粒,顆粒通過流通池,與激光光束發(fā)生散射現(xiàn)象。某一個(gè)(或幾個(gè))角度下的散射光通過透鏡收集匯聚到光電探測(cè)器上,產(chǎn)生正的電信號(hào)脈沖,脈沖信號(hào)的幅度和散射光強(qiáng)成正比。根據(jù)信號(hào)的幅度和個(gè)數(shù)可以對(duì)液體中的微小顆粒進(jìn)行計(jì)數(shù)檢測(cè)。
當(dāng)光束照射含有懸浮微粒的液體時(shí)光能減弱。根據(jù)文獻(xiàn), 此時(shí)懸浮液中微粒會(huì)對(duì)光產(chǎn)生散射和吸收等作用,因?yàn)檫@些作用導(dǎo)致的光強(qiáng)減弱與微粒的濃度存在線性關(guān)系。在文獻(xiàn)中引用了如下公式,來描述當(dāng)微粒濃度較小時(shí),透射光強(qiáng)與入射光強(qiáng)之間的關(guān)系:
它對(duì)應(yīng)于因?yàn)樯⑸浜臀斩鴮?dǎo)致光的衰減總量。有米氏散射的理論,隨著微粒的增大,光強(qiáng)大量集中于前向0度角附近,圖1中我們也可以注意到這一點(diǎn)。(4)式中沒有考慮到這樣的事實(shí):在光阻法檢測(cè)中,前向0角度附近的散射光仍然能夠被探測(cè)器接收,因此必須考慮對(duì)散射系數(shù)進(jìn)行修正。實(shí)際中(4)式變?yōu)椋?/p>
3.PSS技術(shù)的單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)簡介
經(jīng)過光感區(qū)域的粒子由于大小不同,光強(qiáng)隨之產(chǎn)生相應(yīng)的變化。將探測(cè)器收集的光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電壓信號(hào),不同的電壓信號(hào)對(duì)應(yīng)不同的粒徑大小,從而得到微粒的粒徑。美國PSS粒度儀公司(Particle Sizing Systems)的單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)(Single Particle Optical Sizing,SPOS)是在傳統(tǒng)光阻法(LE)大顆粒光學(xué)傳感技術(shù)的基礎(chǔ)上加入了激光散射模塊(LS)。在兩個(gè)模塊(LE+LS)同時(shí)運(yùn)行的情況下,檢測(cè)下限由原來純光阻的1.5μm下探至0.5μm。使得其在大顆粒檢測(cè)領(lǐng)域的應(yīng)用更加的廣泛。
SPOS技術(shù)對(duì)粒子的信號(hào)響應(yīng)方式是信號(hào)與特定粒子相對(duì)應(yīng)的。AccuSizer 780系列儀器中的傳感器通過兩種不同性質(zhì)的物理作用():光消減(light extinction, LE)與光散射(light scattering, LS)對(duì)通過傳感器的粒子進(jìn)行測(cè)定。光消減技術(shù)檢測(cè)通過流動(dòng)池的光強(qiáng)變化,擁有檢測(cè)粒子的粒徑范圍廣且與粒子組份無關(guān)等優(yōu)點(diǎn)。然而,它的靈敏度有限。另一方面,光散射技術(shù)具有相對(duì)窄的動(dòng)態(tài)粒徑范圍 (取決于檢測(cè)器/放大器的飽和值),但能檢測(cè)到小粒徑的粒子,使用大功率激光光源還能檢測(cè)到粒徑更小的粒子。通過合并光消減和光散射響應(yīng)信號(hào),傳感器可同時(shí)擁有這兩種方法的優(yōu)點(diǎn),因而在不損失單粒子分辨率巨大優(yōu)勢(shì)的前提下?lián)碛邢鄬?duì)較廣的動(dòng)態(tài)粒徑范圍。
圖4 PSS的SPOS原理圖
4. 的自動(dòng)稀釋原理介紹
單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)(Single Particle Optical Sizing, SPOS)雖然具有的量化粒度分布的優(yōu)點(diǎn),但是相應(yīng)的粒子間的重合效應(yīng)會(huì)造成檢測(cè)結(jié)果不準(zhǔn)。PSS粒度儀使用的自動(dòng)稀釋機(jī)制,可以將樣品稀釋到目標(biāo)濃度,然后再采集數(shù)據(jù),保證粒度可以以“single”狀態(tài)通過傳感器,從而實(shí)現(xiàn)高濃度樣本的檢測(cè)。
系統(tǒng)可以根據(jù)稀釋倍數(shù)自動(dòng)計(jì)算給出原樣品顆粒濃度,解決了高濃度樣品的檢測(cè)難題,適合測(cè)試其他技術(shù)手段無法檢測(cè)高濃度樣本,更加適合測(cè)量樣品量稀少且珍貴的樣品。
圖5 自動(dòng)稀釋原理圖
5.在線監(jiān)測(cè)原理簡圖
粒徑測(cè)量范圍(可選) | 0.5 – 400 μm 0.15- 20 μm |
分析方法 | 單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)(SPOS) |
精確度 | 5% |
可用溶劑 | 水相和有機(jī)相 |
進(jìn)樣量(可選) | 0.5 mL, 1 mL, 2 mL 5 mL |
磁力攪拌器 | 轉(zhuǎn)速可自由調(diào)控 |
流速(稀釋系統(tǒng)) | 60 – 180 mL/min, 二步稀釋模塊 |
分析軟件(可選) | Windows 運(yùn)行環(huán)境,標(biāo)準(zhǔn)軟件或符合 21 CFR Part 11 規(guī)范分析軟件 |
電壓 | 220 – 240 VAC,50Hz 或100 – 120 VAC,60Hz |
外形尺寸 | 50 cm *22 cm *92 cm; |
壓力需求 | 30PSI-50PSI |
安裝條件 | 稀釋流體供給系統(tǒng),廢液池 |
傳感器 | LE400-05、LE400-1、LE1000-3、FX、FXnano |
注射泵 | 1 mL 2.5 mL 5 mL |
乳劑 | 乳劑是兩種互不相溶的液體經(jīng)乳化制成的非均勻分散體系,通常是水和油的混合物。乳劑有兩種類型,一種是水分散在油中,另一種是油分散在水中。常見的乳劑制品有牛奶(水包油型)和黃油(油包水型),加工過程中它們均需均質(zhì)化處理到所需的粒徑大小以期延長保質(zhì)期。 |
化學(xué)機(jī)械拋光液(CMP SLURRY) | 化學(xué)機(jī)械拋光是半導(dǎo)體制造加工過程中的重要步驟?;瘜W(xué)機(jī)械拋光液是由腐蝕性的化學(xué)組分和磨料(通常是氧化鋁、二氧化硅或氧化鈰)兩部分組成。拋光過程很大程度上取決于晶片表面構(gòu)型。晶片的加工誤差通常以埃計(jì),對(duì)晶片質(zhì)量至關(guān)重要。拋光液粒度越均勻、不聚集成膠則越有利于化學(xué)機(jī)械拋光加工過程的順利進(jìn)行。 |
墨水 | 隨著打印機(jī)技術(shù)的不斷發(fā)展,打印機(jī)用的墨水變得越來越重要。噴墨打印機(jī)墨水的粒度應(yīng)當(dāng)控制在一定的尺度以下,且分布均勻,大的顆粒易于堵塞打印頭并影響打印質(zhì)量。墨水是通過研磨方法制得的,可用粒度檢測(cè)分析儀器設(shè)備監(jiān)測(cè)其研磨加工過程,以保證墨水的顆粒粒度分布均勻,避免產(chǎn)生聚集的大顆粒。 |
尊敬的用戶您好,在對(duì)儀器還不了解的情況下,為了讓您可以選擇一款適合貴單位的設(shè)備,可以先寄送樣品到我們公司,由我們的技術(shù)人員幫您測(cè)試樣品,并將測(cè)試結(jié)果和數(shù)據(jù)報(bào)告發(fā)送到您郵箱或者將紙質(zhì)版寄送到貴單位。
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