適用于電鏡實(shí)驗(yàn)室的掃描電子顯微鏡(SEM)樣品制備,非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極制作。
1. 配置有樣品濺射室真空表和濺射電流表,用以指示、監(jiān)控儀器狀態(tài);
2. 濺射電流調(diào)整控制器、微型真空氣閥。在工作時(shí)結(jié)合內(nèi)部自動控制電路很容易控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及任意選擇所需要的電離氣體,獲得鍍膜效果;
3. 特殊設(shè)計(jì)的鐘罩邊緣橡膠密封圈,可保證長期使用不會出現(xiàn)影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩“崩邊”現(xiàn)象;
4. 陶瓷密封高壓頭比通常采用橡膠密封的更經(jīng)久耐用;
5. 根據(jù)電場中氣體電離特性,采用大容量樣品濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶,使濺射鍍層更均勻純凈。
配置參數(shù):
1、靶(上部電極):金:直徑:50mm,厚度:0.12mm
2、真空樣品室: 直徑:160mm,高:120mm
3、濺射面積: Ф50mm,放置
4、真空指示表: 真空度:≤ 4X10-2 mbar
5、離子電流表: 電流:50mA(100mA)
6、定時(shí)器: 最長時(shí)間:900S
7、微型真空氣閥: 可連接φ3mm軟管
8、可通入氣體: 多種
9、電壓: -1600(-3000)DCV
10、機(jī)械泵: 2L/S