日立掃描電子顯微鏡S-3400N型具有開發(fā)的電子光學系統(tǒng),強大的自動化功能,操作更簡易。
一、日立掃描電子顯微鏡S-3400N型的特點
1. S-3400N具有強大的自動功能,包括自動燈絲飽和、4偏壓、自動槍對中、自動束流設定、自動合軸自動聚焦和消像散、自動亮度對比度等。
2. 在3kV低加速電壓時保證有10nm的分辨率。
3. 新型5分割高靈敏半導體式背散射探頭。
4. S-3400N II型具有五軸馬達臺,傾斜角度可達-20度~+90度,樣品可達80mm。
5. 分析樣品倉可以同時安裝EDX , WDX 及EBSD。
6. 真空系統(tǒng)使用渦輪分子泵,潔凈、高效。
二、日立掃描電子顯微鏡S-3400N型的技術指標
項目 | 描述 | |
SE分辨率 | 3.0nm (30kV),高真空模式 | |
BSE分辨率 | 4.0nm (30kV),低真空模式 | |
放大倍率 | x5 ~ x300,000 | |
加速電壓 | 0.3 ~ 30 kV | |
低真空 圍 | 6 ~ 270 Pa | |
樣品尺寸 | 直徑200mm | |
樣品臺 | I型 | II型 |
X | 0 ~ 80mm | 0 ~ 100mm |
Y | 0 ~ 40mm | 0 ~ 50mm |
Z | 5 ~ 35mm | 5 ~ 65mm |
R | 360º | 360º |
T | -20º~ +90º | -20º ~ +90º |
樣品高度 | 35mm (WD=10mm) | 80mm (WD=10mm) |
驅動類型 | 手動 | 五軸馬達驅動 |
燈絲 | 預對中鎢燈絲 | |
物鏡光欄 | 可移動式4孔物鏡光欄 | |
槍偏壓 | 固定比例偏壓、手動偏壓和自動4偏 | |
檢測器 | 二次電子檢測器 | |
分析位置 | WD=10mm, TOA=35o | |
控制 | 鼠標、鍵盤,手動旋鈕 | |
自動調校 | 自動燈絲飽和、自動4偏壓、自動槍對中、自動束流設定、自動合軸、自動聚焦消像散、自動亮度對比度 |