產(chǎn)品說(shuō)明:
本儀器主要用于掃描電子顯微鏡樣品鍍覆導(dǎo)電膜(金膜),儀器操作簡(jiǎn)單方便,是配合中小型掃描電子顯微鏡制樣的儀器。
技術(shù)指標(biāo):
玻璃處理室:∮100毫米,高度130毫米
試樣臺(tái)尺寸:∮40毫米可同時(shí)放6個(gè)樣品杯
金靶尺寸:∮58毫米
真空系統(tǒng):直聯(lián)旋片真空泵1升/秒
真空檢測(cè):皮氏計(jì)
真空保護(hù):20Pa配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空
工作室工作媒介氣體:空氣或氬氣,配有氬氣專用進(jìn)氣口和微量充氣調(diào)節(jié)
配置:內(nèi)置一塊金鈀
應(yīng)用領(lǐng)域:
金的離子濺射