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      GVC-2000T高真空磁控離子濺射儀

      參考價(jià)面議
      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      • 公司名稱(chēng)北京格微儀器有限公司
      • 品       牌
      • 型       號(hào)
      • 所  在  地
      • 廠商性質(zhì)其他
      • 更新時(shí)間2022/10/14 13:12:24
      • 訪問(wèn)次數(shù)241
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      北京格微儀器有限公司長(zhǎng)期致力于打造以用戶(hù)體驗(yàn)為中心的材料表征領(lǐng)域、材料表面改性等儀器設(shè)備研發(fā)制造,公司總部位于北京海淀中關(guān)村,有多名多年從事真空技術(shù)、電子光學(xué)、離子光學(xué)、表面物理、材料制備等技術(shù)人員聯(lián)合發(fā)起,團(tuán)隊(duì)全部為碩士以上學(xué)歷或高級(jí)職稱(chēng),具備專(zhuān)業(yè)的表面分析、結(jié)構(gòu)分析、原位分析等應(yīng)用經(jīng)驗(yàn),在科研、產(chǎn)業(yè)等領(lǐng)域,沉浸多年,具備獨(dú)立設(shè)計(jì)、項(xiàng)目承擔(dān)、生產(chǎn)制造等綜合能力。當(dāng)前聚焦于具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)并具備國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力的電子顯微鏡樣品制備設(shè)備,并在高校院所和產(chǎn)業(yè)單位得到青睞。

      描述全自動(dòng)知識(shí)產(chǎn)品沒(méi)有熱損傷
      GVC-2000T高真空磁控離子濺射儀 產(chǎn)品信息
      描述

      全自動(dòng)知識(shí)產(chǎn)品

      沒(méi)有熱損傷,效率更高,顆粒度更細(xì),更適合高分辨電鏡

      應(yīng)用領(lǐng)域

      • 高分辨掃描電鏡樣品制備(實(shí)際放大倍數(shù)≥100K)
      • 電極制備-可制備各種金屬電極、ITO電極

      設(shè)備配置與技術(shù)參數(shù)

      名稱(chēng)&型號(hào) 高真空磁控離子濺射儀GVC-2000T
      真空系統(tǒng) 渦輪分子泵(進(jìn)口 ):德國(guó)萊寶90i (單磁懸浮分子泵,抽速為90L/s)
      旋片式真空泵:浙江飛越VRD-4 (抽速為 1 .1L/s)
      真空測(cè)量 全量程復(fù)合真空規(guī)(進(jìn)口):1.0E5Pa-1E-4Pa
      系統(tǒng)極限真空 ≤5E-3Pa
      濺射電源 磁控濺射電源,功率150W
      可用靶材 所有金屬靶材,ITO靶材
      濺射電壓 300-600V,根據(jù)選擇靶材、控制參數(shù)不同而變化
      濺射電流 0-200mA連續(xù)可調(diào),步長(zhǎng)5mA
      濺射時(shí)間 0-9999s, 連續(xù)可調(diào)步長(zhǎng)1s
      操作界面 7英寸TFT彩色液晶觸摸屏,分辨率800×480
      操作方式 一鍵操作
      抽氣節(jié)拍 <15分鐘
      控制方式 只需設(shè)定濺射電流和時(shí)間即可,全自動(dòng)控制
      具備預(yù)濺射擋板(預(yù)濺射時(shí)間可設(shè)定),全自動(dòng)控制
      保護(hù)功能 軟硬件互鎖、防止誤操作,具備電流、真空保護(hù)等
      樣品臺(tái)直徑 φ125mm,可自轉(zhuǎn),可自動(dòng)手動(dòng)控制,轉(zhuǎn)速4-40rpm可調(diào)
      真空室 高硅硼玻璃,規(guī)格尺寸約φ200×130mm
      電源供電 220V 50Hz 功率800W
      尺寸&重量 重量 424(長(zhǎng)) ×345(深) ×420mm(高)、 25 kg (凈重)
      冷卻方式 內(nèi)部風(fēng)冷
      選配 樣品臺(tái)選擇、膜厚控制、溫度監(jiān)測(cè)等

      鍍膜樣品示例:

           銀.jpg   鎢.jpg   鉻.jpg

                   靶材-銀                           靶材-鎢                           靶材-鉻

           鎳.jpg   釩.jpg   錫.jpg

                    靶材-鎳                         靶材-釩                           靶材-錫        

           銅.jpg    鉭.jpg   鐵.jpg 

                   靶材-銅                              靶材-鉭                        靶材-貼 

           鈦.jpg     鉛.jpg    鉬.jpg

                     靶材-鈦                         靶材-鉛                            靶材-鉬

           鋁.jpg      鉑.jpg    金.jpg

                  靶材-鋁                               靶材-鉑                               靶材-金

           鋯.jpg       鉺.jpg    ITO.jpg

                    靶材-鋯                               靶材-鉺                        靶材-ITO

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