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主要參數(shù) | 輸入電源:220V 通用 功率:<>
工作電流: 濺射電流:0-50 mA可調(diào)
單次工作時間:0-5分鐘可調(diào)
靶頭數(shù)目:3個
輸出電壓:1600V DC
樣品臺加熱溫度:500℃(選配,詳細(xì)請聯(lián)系售后) | |||||||||||||||
濺射腔體 | 采用石英腔體,尺寸:166 mm OD x 150 mm ID x 150 mm H
密封:O形密封圈密封 | |||||||||||||||
樣品臺 | 一個外徑50 mm 的樣品臺,用于盛放基片,可以電動控制移動三個位置
濺射距離:濺射距離可調(diào) 可選購加熱型樣品臺(溫度可到500℃)
PID控制器控溫精度+/- 1℃(已集成到觸摸屏上)
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控制面板 | 控制面板為PLC,4.3" 觸摸屏
一個控制面板可以控制所有的參數(shù),包括真空度,電流,靶材位置和基片加熱溫度
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真空泵(選配) | 用機械泵真空度達 50 mtorr(僅供參考,詳情請點擊)
用分子泵真空度可達 10-4 torr(僅供參考,詳情請點擊)
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進氣口 | 一個精密可調(diào)針閥安裝在進氣口,以實現(xiàn)方便的調(diào)節(jié)進氣量 | |||||||||||||||
靶材 | 要求安裝靶材的尺寸:直徑Φ47mm,厚度0.5-3mm
可在本公司選購靶材,具體請點擊鏈接
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外形尺寸 | 460mm×330mm×540mm (L×W×H)
凈重:50KG(不包括泵)
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質(zhì)保期 | 一年保修,終身技術(shù)支持。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 | |||||||||||||||
質(zhì)量認(rèn)證 | 認(rèn)證 | |||||||||||||||
各種靶材的參數(shù)(僅供參考) | 對于濺射各種金屬靶材,需要摸索的濺射參數(shù),下表是本公司實驗所設(shè)置的參數(shù)(僅供參考,詳情請點擊)
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使用注意事項 | 由于能量低,該模型不適用于涂層的輕金屬材料如Al,Mg,Zn,Ni。請考慮我們的磁控濺射鍍膜機或熱蒸發(fā)鍍膜機。點擊下面圖片查看細(xì)節(jié)
有時為了達到理想的薄膜厚度,可能需要多次濺射鍍膜
為了得到較好的薄膜質(zhì)量,必須通入高純氣體(建議> 5N)
在濺射鍍膜前,確保濺射頭、靶材、基片和樣品臺的潔凈
要達到薄膜與基底良好結(jié)合,請在濺射前清潔基材表面
超聲波清洗(詳細(xì)參數(shù)點擊下面圖片):(1)丙酮超聲(2)異丙醇超聲-去除油脂(3)吹氮氣干燥(4)真空烘箱除去水分。
等離子清洗(詳細(xì)參數(shù)點擊下面圖片):可表面粗糙化,可激活表面化學(xué)鍵,可祛除額外的污染物
制造一個薄的緩沖層(5納米左右):如Gr,Ti,Mo,Ta,可以應(yīng)用于改善金屬和合金的附著力
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警告 | 注意:產(chǎn)品內(nèi)部安裝有高壓元件,禁止私自拆裝,帶電移動機體
氣瓶上應(yīng)安裝減壓閥(設(shè)備標(biāo)配不包括),保證氣體的輸出壓力限制在0.02兆帕以下,以安全使用
濺射頭連接到高電壓。為了安全,操作者必須在關(guān)閉設(shè)備前裝樣和更換靶 |
北京壯仕科技有限公司是一家代理、經(jīng)銷國內(nèi)外分析儀器、環(huán)保儀器、生命科學(xué)儀器、電化學(xué)儀器設(shè)備及耗材、實驗室常規(guī)設(shè)備、生化試劑耗材以及玻璃儀器的專業(yè)公司。本著“以質(zhì)量為依托,靠服務(wù)求生存”的宗旨,進行科學(xué)管理,不僅為客戶提供高品質(zhì)的分析儀器,更致力于為所有客戶提供完整的解決方案。從度身定制產(chǎn)品,專業(yè)技術(shù)支持,到完善的售后服務(wù),令所有的客戶稱心滿意。
公司人員均是北京各大高校的畢業(yè)生,立足于高校,利用自身日常使用儀器的一些知識為更多用戶提供優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。
公司在電化學(xué)領(lǐng)域,依托與北京理工大學(xué)環(huán)境能源中心,不斷加強與清華大學(xué)、北京科技大學(xué)、北京化工大學(xué)、北京大學(xué)、物理所、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、鼎能開源、有色金屬研究總院、機電研究院等高校及研究所的合作。
通過與電化學(xué)領(lǐng)域的廠家,包括上海辰華(CHI系列電化學(xué)產(chǎn)品)、科晶集團(MTI鋰離子電池實驗室加工設(shè)備、管式爐、箱式爐、磨拋設(shè)備)、武漢藍電(LAND電池測試設(shè)備)、PINE旋轉(zhuǎn)圓盤電極、Arbin電化學(xué)測試系統(tǒng)等的合作,不斷為廣大電化學(xué)研究者提供面、穎的研究設(shè)備和質(zhì)的服務(wù)。