概 述

氣體質量流量計是采用微機電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感芯片技術和計算機自適應技術歷經多年結合，開發(fā)出的智能化全電子式氣體質量流量儀表技術性能處于水平，具有高靈敏度、高精度、大量程比等優(yōu)點；針對使用環(huán)境, 融合了多種抗干擾措施的電磁兼容設計；且具有多種信號輸出，能通過通訊接口實現網絡管理功能；本產品在性能、安裝、維護方面也具有其的*性，可應用于空氣、氮氣、氧氣、二氧化碳、惰性氣體，以及符合國家標準的天然氣、液化石油氣等氣體計量。

產 品 特 點

-自動進行溫度和壓力補償

- MEMS集成傳感器增加了量程范圍

- 專有的低功耗技術確保了更長的電池壽命

- 體積小、重量輕降低了安裝及運輸成本

- 數據儲存量大，可輕松下載和分析歷史數據　 　 　

- 可進行數據通訊和網絡操作

產 品 結 構

工 作 原 理

本微機電系統(tǒng)（MEMS）芯片傳感技術，是在硅芯片上集成了機械和電子的傳感和控制功能。它并不是簡單地將機械和電子功能微縮在芯片上，而是采用了現代材料制作技術與大規(guī)模集成電路技術相結合獲得新的機電特性。微機電系統(tǒng)芯片可獲得某些宏觀機電器件所不能達到的功效。一個典型的微機電系統(tǒng)芯片包含有微傳感器、微調節(jié)器及智能電子控制線路。其傳感器能感應環(huán)境的熱、機械、磁、光、化學或生物特性，通過微調節(jié)器及智能電子控制線路來完成器件所賦予的功能。本流量計采用了本公司生產的熱質量氣體流量傳感芯片，屬于質量流量傳感方式的流量計，它通過氣體流動產生的熱場變化來測量氣體的流量。由于不同質量的氣體對熱場的變化具有不同的影響，因而，它所測量的流量為質量流量。

主要技術參數

其它技術參數