菲索型激光干涉儀,具有的環(huán)形光源偽跡消除
抑制技術(shù),是一種高精度、共光路面形計(jì)量干涉儀。ZYGO新一代激光干涉儀系列--VeriFire激光干涉儀,繼承了工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)GPI激光干涉儀系列的一切優(yōu)點(diǎn),交融了機(jī)械相移技能、革命性的數(shù)據(jù)收集技能、高性能的光電成像系統(tǒng)、振蕩補(bǔ)償軟件、非球面測(cè)量技能和波紋抑制技能等,是ZYGO技術(shù)的集中體現(xiàn)。Zygo新推出用于在震動(dòng)環(huán)境下測(cè)量的DynaFiz干涉儀。
測(cè)長(zhǎng)儀系統(tǒng):
◆測(cè)量功用:精細(xì)測(cè)量各種反射面和光學(xué)系統(tǒng)的表面面形、精細(xì)測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)的傳輸波前
◆測(cè)量技能:機(jī)械相移干涉測(cè)量(PSI)
◆校準(zhǔn)系統(tǒng):快速條紋采樣系統(tǒng)(QFAS)(雙光點(diǎn)定位于十字線)
◆測(cè)量光束直徑:4″(102mm)或6″(152mm)
◆對(duì)準(zhǔn)視場(chǎng)規(guī)模FOV:4″:±3°;6″:±2°;
◆光學(xué)中心線:4.25″(108mm)
◆激光光源:大功率穩(wěn)頻氦-氖激光,III
◆波長(zhǎng):633 nm
◆頻率穩(wěn)定度:<0.0001 nm
◆相干長(zhǎng)度:>100m
◆成像分辨率:1000 x 1000像素
◆幀速:43Hz
◆數(shù)據(jù)收集時(shí)刻:302ms
◆數(shù)據(jù)形式:8位
◆擴(kuò)大:電控?cái)?shù)顯擴(kuò)大1-5X
◆偏振:挨近圓偏振(1.2:1或許更好)
◆光曈調(diào)焦規(guī)模:4″:±2.5m;6″:±5.5m;
◆計(jì)算機(jī)和軟件:高性能DELL PC,Windows7,64位,ZYGO軟件MetroproTM X和MetroproTM 9
◆安裝構(gòu)造:水平臥式或垂直立式
◆附件:詳細(xì)參考ZYGO激光干涉儀附件導(dǎo)游文件,OMP-0463
◆尺度(長(zhǎng)x寬x高):4″:69 x 31 x 34 cm(27.3 x 12.1 x 13.4 in.);6″:92 x 31 x 34cm(36.4 x 12.1 x 13.4 in.)
性能參數(shù):
◆RMS重復(fù)性:<0.06 nm,λ/10,000(2σ)
◆RMS波前重復(fù)性:<0.35 nm,λ/1800(mean+2σ)
◆像素峰值誤差:<0.5 nm,λ/1200(99.5th%)
工作環(huán)境:
◆溫度:15°C-30°C(59°F-86°F)
◆溫度改變率:<1.0°C/15min
◆濕度:相對(duì)濕度5%-95%,無(wú)凝結(jié)
◆隔振:機(jī)械移相測(cè)量形式推薦運(yùn)用被迫隔振系統(tǒng)。