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      超高分辨掃描電鏡-聚焦離子束飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜聯(lián)用儀

      參考價(jià)面議
      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      • 公司名稱束倫(上海)技術(shù)服務(wù)有限公司
      • 品       牌
      • 型       號(hào)GAIA3GMUMo
      • 所  在  地
      • 廠商性質(zhì)其他
      • 更新時(shí)間2022/9/20 14:47:31
      • 訪問次數(shù)266
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      性能指標(biāo)SEM分辨率:0
      超高分辨掃描電鏡-聚焦離子束飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜聯(lián)用儀 產(chǎn)品信息

      性能指標(biāo)

      1. SEM分辨率: 0.7nm @ 15kV(COF)、1.0nm @ 15kV 1.0nm @ 1kV(COF)、1.4nm @ 1kV
      2. FIB分辨率:2.5nm @ 30kV FIB束流:1pA~50nA
      3. 探測器: 樣品室和鏡筒內(nèi)二次電子探測器 樣品室和鏡筒內(nèi)背散射電子探測器
      4. 質(zhì)譜質(zhì)量分辨率:>800
      5. 質(zhì)譜探測極限:3ppm
      6. 質(zhì)譜空間分辨率:40nm(水平方向) 3nm(深度方向)
      7. 附件:能譜儀(EDS)、EBSD 

      主要應(yīng)用

      1. 該設(shè)備在雙束電鏡(SEM/FIB)的基礎(chǔ)上配備了EDS和EBSD,同時(shí)還集成了一體化的TOF-SIMS。
      2. 該設(shè)備不但能進(jìn)行低電壓超高分辨的電鏡觀察;也能利用FIB對(duì)試樣進(jìn)行切割、加工、沉積,從事內(nèi)部和截面觀察及特定圖形加工工作。
      3. TOF-SIMS可以進(jìn)行高空間分辨的質(zhì)譜分析,可對(duì)包含H、Li等傳統(tǒng)EDS無法分析的全元素以及同位素進(jìn)行分布分析。 

      樣品要求

      1. 送檢樣品必須為干燥固體、塊狀、片狀、纖維狀及粉末狀均可。
      2. 應(yīng)有一定的化學(xué)、物理穩(wěn)定性,在真空中及電子束轟擊下不會(huì)揮發(fā)或變形;無磁性、放射性和腐蝕性。
      3. 含水分較多的生物軟組織的樣品制備,要求用戶自己進(jìn)行臨界點(diǎn)干燥之前的固定、清洗、脫水及用醋酸(異)戊酯置換等處理,最后由本室進(jìn)行臨界點(diǎn)干燥處理。
      4. 觀察圖像樣品應(yīng)預(yù)先噴金膜。
      5. 一般情況下,樣品盡量小塊些(≤10x10x5mm較方便)。
      6. 粉末樣品每個(gè)需1克左右。納米樣品一般需超聲波分散,并鍍鉑金膜。

      儀器說明

      1. 超高分辨率的電鏡適合多種試樣的極限觀察;
      2. 超高分辨率的FIB可以進(jìn)行精確的試樣加工,尤適合制備定區(qū)域TEM薄片;
      3. TOF-SIMS有著遠(yuǎn)勝于EDS的空間分辨率;
      4. 元素深度剖析有著非常高的Z方向分辨率,非常適合薄膜分析;
      5. 具有ppm級(jí)的探測靈敏度;
      6. 可進(jìn)行同位素分析。 
      關(guān)鍵詞:探測器 能譜儀
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