原理是基于硅的應(yīng)變電阻效應(yīng)。在藍(lán)寶石襯底上硅敏感元件構(gòu)成靈敏的應(yīng)變計(jì)電路一由4個(gè)有效的敏感應(yīng)變計(jì)的惠斯頓電橋。藍(lán)寶石膜片與高彈性合金膜片固封為一體,流體壓力作用于這種一體的雙膜結(jié)構(gòu)使電阻應(yīng)變計(jì)變化,并將這種變化轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。
采用微電子加工方法做成的這種雙膜結(jié)構(gòu),便于保證重復(fù)性和可靠性(壓力不泄漏)。藍(lán)寶石膜片與金屬膜片是在高真空下,用靜電或其它分子鍵合方法封接為一體的,保證了在很寬的溫區(qū)內(nèi)具有很小的機(jī)械滯后(0.05%)和使傳感器具有*穩(wěn)定性(在大信號(hào)輸出情況下<0.1%/6個(gè)月)。
技術(shù)指標(biāo)
使用溫區(qū): | -55~150℃;-50~200℃; -200~400~℃。 |
線性誤差: | ±0.1%F.S,±0.25%F.S,±0.5%F.S |
零點(diǎn)輸出: | -5mV |
輸出信號(hào): | ≥60mV~≤400mV |
橋路阻值: | 1.25±0.25KΩ, 4.5±0.35KΩ |
零點(diǎn)溫漂: | ≤0.05%/℃(F.S) |
靈敏度溫漂: | ≤0.05%/℃(F.S) |
過(guò)量程上限 | 60Mpa以下為1.6倍 , 60Mpa以上為1.2倍 |
供電: | V型5VDC , C型1.5mADC |
量程額定范圍
0-0.1(MPa) | 0-0.16(MPa) |
0-0.25(MPa) | 0-0.6(MPa) |
0 1.6(MPa) | 0-2.5(MPa) |
0-6.0(MPa) | 0-16(MPa) |
0-25(MPa) | 0-40(MPa) |
0-60(MPa) | 0-100(MPa) |
0-250(MPa) | 0-400(MPa) |