
MICRO SHED
適用于炭罐、油管等較小部件
典型有效體積(可以更?。?/p>
0.5×0.5×0.5M (W×H×L)
單氣袋流量控制壓力補償
EST超低揮發(fā)技術(密封、照明、電機等)
HFID分析儀
MEXA1170
EST軟件(可控制10個以上SHED)
HC背景水平≤1ppm(C1)
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