SJ6000系列激光干涉儀校準(zhǔn)測量輕松提高定位精度。它采用進(jìn)口高性能氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),以及高速干涉信號采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率。其高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動(dòng)補(bǔ)償。
SJ6000系列激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動(dòng)態(tài)測量軟件配合下,還可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測,以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
(線性鏡組為標(biāo)配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成。可滿足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。)
產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品型號: SJ6000
產(chǎn)品名稱: 激光干涉儀
穩(wěn)頻方式: 雙頻激光雙縱模熱穩(wěn)頻
穩(wěn)頻精度: 0.04ppm
測量距離:≤(0-80)m(無需遠(yuǎn)距離線性附件)
測量分辨力:1nm
測量至大速度:4m/s
線性測量精度:±(0.2μm+0.3μm/m) (0~40)℃
角度測量精度:±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R為顯示值,單位:″;M為測量距離,單位:m)
主要特點(diǎn):jue對測量、恒測力、無阿貝誤差
SJ6000系列激光干涉儀校準(zhǔn)測量測量分辨率0.01″,系統(tǒng)測量精度為±1″,基準(zhǔn)WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺重復(fù)精度為0.2″。主要特點(diǎn)是小巧便攜、功能強(qiáng)、無線操作。具有測量精度高、測量速度快、高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。