產(chǎn)品名稱:TYG-2000/T2步進投影光刻機 | ||
主要技術(shù)指標: | ||
曝光場面積:20mm×20mm | ||
分辨力:2μm; | ||
照明不均勻性:±2% | ||
物鏡倍率:2.5倍(縮小) | ||
光源:350W球形汞燈(曝光譜線: i線) | ||
基片尺寸:4 英寸 | ||
工件臺運動范圍:X:>150mm、 Y:>150mm; | ||
工件臺運動定位精度:±0.65μm | ||
調(diào)焦臺運動靈敏度:1μm | ||
對準精度:±0.5μm | ||
調(diào)焦臺運動行程:5mm | ||
檢焦:CCD檢測,檢測精度0.5微米 | ||
轉(zhuǎn)動臺行程:±4°以上 | ||
基片尺寸:Ф5mm—150mmX150mm(并可適應非標準片或碎片),厚度:0.1mm--5mm | ||
主要技術(shù)配置: | ||
(1)照明系統(tǒng):冷光橢球鏡; 350W進口直流高壓汞燈(德國歐司朗); XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺; 光學系統(tǒng):固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡負透鏡、蠅眼透鏡組(79個透鏡)、i線濾光片、場鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2; 冷卻風扇 (2)工件臺系統(tǒng):X臺:電機驅(qū)動器(日本樂孜)、絲杠(日本NSK)、導軌2(日本THK)、光柵(美國) Y臺:電機及驅(qū)動器(日本樂孜)、絲杠(日本NSK)、導軌2(日本THK)、光柵2(美國) 轉(zhuǎn)動臺:電機及驅(qū)動器(日本樂孜),轉(zhuǎn)動軸系 調(diào)平臺:電機及驅(qū)動器(3套)、調(diào)平機構(gòu) Z臺:電機及驅(qū)動器(日本樂孜)、絲杠、上升導向機構(gòu); 承片臺:3英寸(可增加4英寸、2英寸、1英寸等) (3)檢焦系統(tǒng):焦面光學檢測系統(tǒng)、CCD、焦面檢測軟件 (4)對準系統(tǒng):對準光學檢測系統(tǒng)(2套)、CCD(2套)、對準軟件 (5)電控系統(tǒng):汞燈電源及觸發(fā)器、主機控制系統(tǒng)、軟件、計算機、顯示器、接口 (6)其他部件:底座 減震器(4個);控制柜桌;氣動系統(tǒng);電磁閥、旋轉(zhuǎn)氣缸、減壓閥、壓力表、真空表 (7)其他附件:真空泵一臺(無油泵);空壓機一臺(*泵);管道 |
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微控設(shè)備
TYG-2000/T2步進投影光刻機 產(chǎn)品信息
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