產(chǎn)品型號:SuperView W3
產(chǎn)品名稱:白光干涉儀
原理:非接觸、三維白光掃描干涉儀
掃描裝置:長范圍,Z軸納米光柵控制
物鏡:Nikon,10×無限遠(yuǎn)共軛干涉物鏡
物鏡座:5孔電動物鏡塔臺(標(biāo)準(zhǔn))
測量陣列:1024*1024,工業(yè)級相機(jī)
Z軸:100mm行程,納米位移閉環(huán)反饋
安全性:系統(tǒng)集成緊急制動功能
樣品臺:0.1nm電動,俯仰傾斜±6°,電動調(diào)節(jié),XY行程300*300
尺寸450*450mm,亞微米閉環(huán)反饋
一體化操作的測量與分析軟件,操作無須進(jìn)行切換界面,預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測量,軟件自動統(tǒng)計(jì)測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能,即可快速實(shí)現(xiàn)批量測量功能。
測量中提供自動多區(qū)域測量功能、批量測量、自動聚焦、自動調(diào)亮度等自動化功能。
測量中提供拼接測量功能。
分析中提供調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,其中調(diào)整位置包括圖像校平、鏡像等功能;糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能;濾波包括去除外形、標(biāo)準(zhǔn)濾波、過濾頻譜等功能;提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。
分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能,其中粗糙度分析包括依據(jù)國際標(biāo)準(zhǔn)的ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數(shù)分析功能;幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等功能;結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷深度等;頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能;功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能。
分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,設(shè)置分析模板,結(jié)合測量中提供的自動測量和批量測量功能,可實(shí)現(xiàn)對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能。