快速熱處理退火爐簡(jiǎn)稱 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace)，這款不但擁有很快的升溫速率100℃/S，而且降溫速率也有了質(zhì)的飛躍，降溫速率100℃/S。我們的工程師們巧妙的設(shè)計(jì)工藝使得冷卻氣體直接對(duì)著樣品直吹，以至于達(dá)到如此快的降溫速度。真正的快速升溫和快速降溫!

　　此款設(shè)備采用了成儀自主研發(fā)的智能AIO(All In One)控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了爐膛自動(dòng)左右移動(dòng)，爐膛在左側(cè)加熱到設(shè)定溫度后，直接移動(dòng)到右側(cè)樣品區(qū)域，實(shí)現(xiàn)樣品快速升溫，樣品加熱到設(shè)定溫度和時(shí)間后，爐膛自動(dòng)移開(kāi)樣品加熱區(qū)，實(shí)現(xiàn)樣品的快速降溫。成儀AIO智能控制系統(tǒng)不但實(shí)現(xiàn)了真空系統(tǒng)開(kāi)啟、保護(hù)氣氛通斷以及冷卻氣體通斷的自動(dòng)協(xié)調(diào)控制，而且還能自動(dòng)平衡爐管內(nèi)的壓力大小，真正實(shí)現(xiàn)了操作方便，而且安全可靠。

　　功能舉例：樣品加熱到1000℃后，爐膛自動(dòng)移開(kāi)加熱區(qū)，冷卻氣體自動(dòng)打開(kāi)直吹樣品表面實(shí)現(xiàn)快速降溫，樣品溫度降到70℃時(shí)自動(dòng)關(guān)閉冷卻氣體。然后爐膛移動(dòng)到加熱區(qū)繼續(xù)加熱，如此往復(fù)，往復(fù)次數(shù)可用戶自定義。真空系統(tǒng)可根據(jù)用戶設(shè)定溫度自動(dòng)開(kāi)啟和關(guān)閉。

　　主要特點(diǎn)

　　Ø 快速升溫100℃/S，快速降溫100℃/S;

　　Ø 雙層爐管結(jié)構(gòu)，氣氛與樣品接觸更均勻;

　　Ø 直接測(cè)量樣品表面溫度，測(cè)溫更精準(zhǔn);

　　Ø 爐膛根據(jù)設(shè)置可自動(dòng)左右移動(dòng)，可以滿足更多的實(shí)驗(yàn)應(yīng)用;

　　Ø 樣品實(shí)際溫度數(shù)據(jù)可通過(guò)手機(jī)APP導(dǎo)出excel表格;

　　應(yīng)用領(lǐng)域

　　Ø 快速熱退火 (RTA); 離子注入后退火

　　Ø 石墨烯等氣象沉積，碳納米管等外延生長(zhǎng)

　　Ø 快速熱氧化 (,RTO); 熱氮化 (RTN);

　　Ø 硅化 (Silicidation);

　　Ø 擴(kuò)散 (Diffusion);

　　Ø 離子注入后退火 (Implant Annealing);

　　Ø 電極合金化 (Contact Alloying);

　　Ø 晶向化和堅(jiān)化 (Crystallization and Densification);