– 表面鍍膜厚度及平整度檢測
– 顯示屏及多層透明材質(zhì)內(nèi)部平整度及缺陷檢測
– 適用于多層結(jié)構(gòu)的3D曲面
– 鍍膜厚度測量精度± 10 nm
– 平整度測量精度± 50 nm
– 視野的干涉成像系統(tǒng) FOV 40mm
– 成像速度快 <1s
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