
518 系列 — 高精度2D 測量系統(tǒng)
• 帶0.1μm/0.4μm 分辨力/ 重復(fù)精度的指示精度可達(1.1+0.6L/600)μm。
• 高精度測高儀加入了廣泛的測量功能。
• 為了達到的精度,使用高精度反射性線性編碼器和高精度導(dǎo)軌。
• 測量可以通過圖標命令來執(zhí)行,同時,也支持一鍵操作,保證正面的垂直度為5μm ,直線度為4μm。
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518 系列 — 高精度2D 測量系統(tǒng)
• 帶0.1μm/0.4μm 分辨力/ 重復(fù)精度的指示精度可達(1.1+0.6L/600)μm。
• 高精度測高儀加入了廣泛的測量功能。
• 為了達到的精度,使用高精度反射性線性編碼器和高精度導(dǎo)軌。
• 測量可以通過圖標命令來執(zhí)行,同時,也支持一鍵操作,保證正面的垂直度為5μm ,直線度為4μm。
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