LCD形貌掃描測(cè)量
測(cè)量要求
掃描LCD部分區(qū)域的三維形貌,并提取profile獲得不同位置的段差
主要特點(diǎn)概覽
1.非接觸式測(cè)量,一體化設(shè)計(jì)
2.三維形貌掃描,多功能數(shù)據(jù)處理
3.適用于各種材料的精確測(cè)量
4.使用簡(jiǎn)單,裝拆方便
5.掃描速度快,定位精度高
6.±0.5到±1μm重復(fù)精度保證
7.穩(wěn)定性高,抗力強(qiáng)
解決現(xiàn)階段測(cè)量裝置存在的問(wèn)題
1.對(duì)測(cè)量材料有一定要求
2.接觸式測(cè)量,對(duì)測(cè)量材料有損壞
3.測(cè)量范圍小,位置不確定,測(cè)定困難
4.測(cè)量速度慢、精度低,測(cè)量誤差大
5.結(jié)構(gòu)復(fù)雜,成本高