產(chǎn)品簡介:
型號:MFC501應(yīng)用領(lǐng)域:——分析儀器
——干刻(RIE/DRIE)——生物技術(shù)
——?dú)庀笊V分析——激光焊機(jī)
產(chǎn)品特征:
高精度,高穩(wěn)定性,快響應(yīng),小體積。
產(chǎn)品簡介:
型號:MFC501
應(yīng)用領(lǐng)域:
——分析儀器 ——干刻(RIE/DRIE)
——生物技術(shù) ——?dú)庀笊V分析
——激光焊機(jī) ——過程自動(dòng)化
——真空鍍膜 ——燃料電池
產(chǎn)品特性:
◆無可移動(dòng)部件
◆支持多種通訊協(xié)議
◆容易安裝及維護(hù)
◆高精度、高穩(wěn)定性、非常低的零漂
◆可控多種氣體
◆可配控制器
◆產(chǎn)品低功耗
機(jī)械尺寸:
技術(shù)指標(biāo):
流量規(guī)格:0~20,30,50,100,150,200,275SLM
準(zhǔn) 確 度:±1.5%F.S.
線 性 度:<±1%F.S.
重復(fù)精度:±0.2%F.S.
響應(yīng)時(shí)間:<1S
工作壓差:0~0.8MPa
耐壓:3MPa
環(huán)境溫度:5-55℃
電氣連接:Db15
輸出信號:0~5V、4~20mA
電 源:±15V或者15~28V
流量調(diào)節(jié)范圍:2~100F.S
漏 率:<1*10-7Pa*m3/s
溫度系數(shù):<0.1%F.S/℃
外形尺寸:106*36*138
重 量:2.0Kg
電氣連接:DB15