質(zhì)量流量控制系統(tǒng)DGS03主要用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密控制和測(cè)量。它們?cè)诎雽?dǎo)體和集成電路工藝、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括:微電子工藝設(shè)備、,如擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、氣體取樣、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其它分析儀器。系統(tǒng)默認(rèn)配置為: MAC地址:32;RS485通信波特率:19200; 控制方式:數(shù)字。
∮主要技術(shù)參數(shù):
流量規(guī)格(N2) | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM (0~1,2,3,5,10,20,30)SLM |
準(zhǔn)確度 | ±1.0% S.P . (≥35% F.S.) ±0.35% F.S. (<35% F.S.) |
線性 | ±0. 5% F.S. |
重復(fù)精度 | ±0.2% F.S. |
工作壓差范圍(<0.02MPa) | 0.05~0.35Mpa 流量規(guī)格≤10SLM 0.1~0.35Mpa 流量規(guī)格>10SLM |
溫度系數(shù) | 零點(diǎn):≤±0.05FS/℃; 調(diào)節(jié)時(shí):≤±0.1FS/℃ |
耐壓 | 3MPa |
響應(yīng)時(shí)間 | ≤2sec |
漏率 | 1×10-10pa.m3/sec He |
密封材料 | 氟橡膠; 氯丁橡膠 |
工作環(huán)境溫度 | (5~45) ℃ |