產(chǎn)品詳情
目標(biāo)尺寸是*大為 150 x 150 玻璃的高強(qiáng)度曝光設(shè)備。
“平行光曝光機(jī)”采用高精度平行光源和精密載物臺(tái)對(duì)玻璃基板進(jìn)行曝光,通過分體式幻燈片掩??蓪?shí)現(xiàn)手動(dòng)8分多面曝光。
目標(biāo)尺寸是*大為 150 x 150 玻璃的高強(qiáng)度曝光設(shè)備。
[特點(diǎn)]
○ 操作單元可選擇開關(guān)式和觸摸屏式
○ 曝光間隙設(shè)置在 0 到 300 μm 之間
○ 可更換口罩支架,支持*大 6 英寸的口罩
產(chǎn)品規(guī)格
○ 玻璃尺寸:150mm × 150mm (MAX) × 0.5 ~ 1mmt * 因規(guī)格而異
○ 外露面照度:超高壓水銀燈2kW、40mW/cm2以上
○ 光線平行度:準(zhǔn)直半角2.0°、偏角0.5 ° 以內(nèi)
○ 間隙設(shè)置分辨率:0 至 300 μm,± 2 μm
○ 公用事業(yè):AC200V 50 / 60Hz,空氣 0.5Mpa
○ 燈室排氣:5m2 / min
○ 外形尺寸:(W)1100 ×(D)1290mm ×(H ) 2175mm *可能會(huì)根據(jù)規(guī)格進(jìn)行更改。
* 以上項(xiàng)目可根據(jù)所需規(guī)格進(jìn)行更改。