產(chǎn)品詳情
我們在玻璃基板上涂上抗蝕劑,對曝光的材料進(jìn)行顯影,用水清洗,然后瀝干。它是一種可以改變顯影噴頭的形狀和數(shù)量的結(jié)構(gòu)。
“傳送顯影器”通過噴涂法將抗蝕劑涂敷到玻璃基板上,對曝光的材料進(jìn)行顯影、沖洗和排水。
處理面為單面(上表面)專用,水洗排水為雙面(上、下)處理。
裝載和卸載是手動的。
【主要規(guī)格】
○處理能力:100平方×0.7(1.1)t 3玻璃基板
○工藝:槳式顯影-N-水洗-2液-直接水洗-排水
○使用化學(xué)品:堿性顯影劑
產(chǎn)品規(guī)格
[規(guī)格]
○ 處理能力:100 平方 x 0.7 (1.1) t 3 玻璃基板
○ 工藝:槳式-顯影-N-水洗-2 流體-直接水洗-排水
○ 使用化學(xué)品:堿性顯影劑
○ 顯影劑溫度:20- 30度±3℃
○設(shè)備尺寸:L2880×W1550×H1784mm 包括突起物
○附屬設(shè)備:冷水機(jī)組、BJ罐、廢液回收罐
○公用事業(yè):AC200V/50Hz/約5kw/3相
→空氣:0.5Mpa/cm2以上工廠配管(管徑另行約定)
→排氣:2m2/min以上工廠排氣連接
→顯影廢液:Poly tank收集/工廠廢液手動切換類型
→一般廢水/工廠廢液手動閥門切換
* 以上項目為必填項 可根據(jù)規(guī)格更改