? 接觸式觸發(fā)測(cè)頭可在一臺(tái)機(jī)器中,實(shí)現(xiàn)接觸和非接觸式測(cè)量。(訂購(gòu)時(shí)需說明)
QV ACCEL 系列規(guī)格
QV ACCEL808 | QV ACCEL1010 | QV ACCEL1212 | QV ACCEL1517 | |||
測(cè)量范圍 (X×Y×Z) | 800×800×150mm | 1000×1000×150mm | 1250×1250×100mm | 1500×1750×100mm | ||
放大倍率轉(zhuǎn)換系統(tǒng) | PPT1X-2X-6X | |||||
分辨力 | 0.1μm | |||||
長(zhǎng)度測(cè)量裝置 | 線性編碼器 | |||||
影像測(cè)量方法 | CCD照相機(jī) | |||||
測(cè)量精度*1*2 | E1X, E1Y | (1.5+3L/1000)μm | (2.2+3L/1000)μm | |||
E1Z | (1.5+4L/1000)μm | (2.5+5L/1000)μm | ||||
E2XY | (2.5+3L/1000)μm | (3.5+4L/1000)μm | ||||
重復(fù)精度*1 | 短尺寸 | X, Y軸 | 3σ = 0.2μm | |||
長(zhǎng)尺寸 | 3σ = 0.7μm | 3σ = 1.5μm | ||||
LAF重復(fù)精度*3 | σ = 0.4μm | |||||
工作臺(tái)玻璃尺寸 | 883×958mm | 1186×1186mm | 1440×1440mm | 1714×1968mm | ||
臺(tái)面承重*4 | 10kg | 30kg | 30kg | 30kg | ||
尺寸 (W×D×H) | 1475×1860×1578mm | 1912×2141×1603mm | 2166×2370×1554mm | 2440×2898×1554mm | ||
重量(包括機(jī)器設(shè)置臺(tái)) | 約 2050kg | 約 2950kg | 約 3600kg | 約 4500kg |