? 作為基準(zhǔn)的測長方式采用了分辨力為0.01μm的光學(xué)式線性編碼器。該編碼器的線性膨脹系數(shù)為零,將溫度變化產(chǎn)生的誤差控制到最小限度。
超高精度玻璃光柵尺在三豐公司的清原工廠地下車間生產(chǎn)。
ULTRA QV404PRO規(guī)格ULTRA QV 404 | ||
測量范圍 (X×Y×Z) | 400×400×200mm | |
放大倍率轉(zhuǎn)換系統(tǒng) | PPT1X-2X-6X | |
分辨力 | 0.01 µm | |
長度測量裝置 | 線性編碼器 | |
影像測量方法 | CCD 照相機(jī) | |
測量精度*1 *2 | E1X, E1Y | (0.25+L/1000)µm |
E1Z | (1.5+2L/1000) µm (測量范圍: 200mm) (1.0+2L/1000) µm (測量范圍: 10 - 60mm) | |
E2XY | (0.5+2L/1000)µm | |
LAF重復(fù)精度*3 | σ= 0.4µm | |
照明裝置 *4 | 同軸照明/ 透射照明/ 程控環(huán)形照明 | |
工作臺玻璃尺寸 | 493×551mm | |
臺面承重 *5 | 40kg | |
尺寸 (W×D×H) | 1172×1735×1910mm | |
重量 ( 包括機(jī)器設(shè)置臺 ) | 約 2150kg |