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產(chǎn)品介紹?
布魯克 DektakXT 臺階儀（探針式表面輪廓儀）是一項創(chuàng)新性的設(shè)計，可以提供的重現(xiàn)性，重現(xiàn)性低于4?。臺階儀這項性能的提高達(dá)到了過去四十年 Dektak 技術(shù)創(chuàng)新的，更加鞏固了其行業(yè)地位。通過整合其行業(yè)產(chǎn)品，DektakXT 實現(xiàn)了性能。操作簡易，從研發(fā)到質(zhì)量控制都有更好的過程控制。整合了技術(shù)突破到第十代 Dektak 臺階儀能夠在微電子，半導(dǎo)體，太陽能、超高亮度發(fā)光二極管（LED）、醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)等行業(yè)實現(xiàn)納米級表面形貌測量。 主要特點： DektakXT 能實現(xiàn): ■ 的性能，臺階高度重現(xiàn)性低于 4? – Single-arch 設(shè)計提供具突破性的掃描穩(wěn)定性 – *的“智能電子器件”設(shè)立了新低噪音基準(zhǔn) – 新硬件配置使數(shù)據(jù)采集時間縮短 40% – 64-bit， Vision64 同步數(shù)據(jù)處理軟件，使數(shù)據(jù) 分析速度提高了十倍 ■ 效率，操作簡易 – 直觀的 Vision64 用戶界面，操作簡易 – 針尖自動校準(zhǔn)系統(tǒng)，讓用戶輕松更換針尖 ■ 探針輪廓儀領(lǐng)域，的價值 – 布魯克（Bruker）以實惠的配置實現(xiàn)的性能 – 單傳感器設(shè)計，提供單一平面上低作用力和寬掃描范圍 |
產(chǎn)品參數(shù)
| 型號 | DektakXT | ||
| 測量技術(shù) | 探針輪廓技術(shù) | ||
| 測量功能 | 二維表面輪廓測量/可選三維測量 / | ||
| 樣品視景 | 可選放大倍率, 1 to 4mm FO V | ||
| 探針傳感器 | 低慣量傳感器 (LIS 3) | ||
| 探針壓力： | 使用 LIS 3 傳感器： 1 至 15mg | ||
| 低作用力（選配） | 使用 N-Lite+低作用力 傳感器： 0.03 至 1 5mg | ||
| 探針選項 | 探針曲率半徑可選范圍： 50nm 至 25μ m 高徑比 (HAR)針尖： 10 μ m x 2 μ m 和 200 μ m x 20μ m; 可按客戶要求定制針尖 | ||
| 樣品 X/Y 載物臺 | 手動 X-Y 平移：100mm (4 英寸) 機動 X-Y 平移：150mm (6 英寸) | ||
| 樣品旋轉(zhuǎn)臺 | 手動，360°旋轉(zhuǎn);機動： 360°旋轉(zhuǎn) | ||
| 計算機系統(tǒng) | V64-bit 多核并行處理器 , Windows ® 7 .0; Optional 23英寸平板顯示器 | ||
| 軟件 | Vision64 操作及分析軟件；應(yīng)力測量軟件； 懸臂偏轉(zhuǎn)；縫合軟件；三維掃描成像軟件 | ||
| 減震裝置 | 減震裝置可用 | ||
| 掃描長度范圍 | 55mm (2 英寸 ) | ||
| 每次掃描數(shù)據(jù) | 最多可達(dá) 120,000 數(shù)據(jù)點 | ||
| 樣品厚度 | 50mm (2 英寸 ） | ||
| 晶圓尺寸 | 200mm (8 英寸) | ||
| 臺階高度重現(xiàn)性 | <4?, 1σ 在1μ m 臺階上 | ||
| 垂直范圍 | 1mm (0.039 英寸 ） | ||
| 垂直分辨率 | 1? ( 6.55μ m 垂直范圍下) | ||
| 輸入電壓 | 100 – 240 VAC, 50 – 60Hz | ||
| 溫度范圍 | 運行范圍 20 到 25°C (68 到 77°F） | ||
| 濕度范圍 | ≤ 80%, 無冷 凝 | ||
| 系統(tǒng) 尺 寸及 重量 | 455mm W x 550mm D x 370mm H (17.9in. W x 22.6in. D x 14.5in. H);. 34 公斤 (75 磅 ）； 附件： 550mm L x 585mm W x 445mm H (21.6in. L x 23in. W x 17.5in. H); 21.7 公斤 (48 磅 ） |
