氣體質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器特性：產(chǎn)品名稱：氣體質(zhì)量流量控制器（MFC/MFM）

標(biāo)準(zhǔn)量程（N2）：0～5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM；

0～1、2、3、5、10、20、30、50、100、200SLM；

準(zhǔn)精度：±1％F.S；   重復(fù)精度：±0.2%F.S

響應(yīng)時(shí)間：電特性 ＜10sec 氣特性＜1～4sec

線性：±（0.5～1）％F.S  工作壓差范圍：0.05～0.3MPa

耐壓：3，10MPa；  工作環(huán)境溫度：5～45℃

輸入輸出信號(hào)電壓：0～+5.00V

電源：+15V500mA、-15V500mA（輸入阻抗大于100K，輸出電流不大于3mA）

電連接器：D14pin

外形尺寸：130*28*121mm

重量：約1.0kg

接口尺寸：Swagelok :Φ3.Φ6.Φ10.Φ1/4〞.Φ3/8〞....

          VCR接頭：Φ1/4〞.Φ3/8〞.Φ1/8〞........

氣體質(zhì)量流量控制器, 即稱Mass Flow Controller（縮寫為MFC）, 不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能，更重要的是，它能自動(dòng)控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。簡(jiǎn)單地說(shuō),質(zhì)量流量控制器就是一個(gè)穩(wěn)流裝置, 是一個(gè)可以手動(dòng)設(shè)定或與計(jì)算機(jī)聯(lián)接自動(dòng)控制的氣體穩(wěn)流裝置。

     目前所用各種型式的氣體流量計(jì)，絕大部分是計(jì)量氣體的體積流量。由于氣體的體積隨溫度與壓力的不同而變動(dòng)，所以常發(fā)生較大的計(jì)量誤差。如工作壓力經(jīng)常變動(dòng)，更使計(jì)量發(fā)生困難。

氣體質(zhì)量流量計(jì)的主要特點(diǎn)是不受溫度與壓力變動(dòng)的影響，其顯示讀數(shù)直接指示氣體的質(zhì)員流量。它具有一系列優(yōu)點(diǎn)：

1. 在常壓、高壓或負(fù)壓的條件下均可選用。

2. 可在常溫、100度，甚至又高的溫度下正常運(yùn)行。

3. 適用的量程范圍寬，既能用于實(shí)驗(yàn)室內(nèi)小流量的場(chǎng)所也可用于工廠生產(chǎn)中的大型裝置。

4. 流量計(jì)的阻力降極微。

5. 抗介質(zhì)腐蝕的能力強(qiáng)。

6. 計(jì)量精度高。

7. 輸出電訊號(hào)，可遠(yuǎn)傳顯示，還便于與其他儀表配合后實(shí)現(xiàn)流量記錄．自控或累計(jì)。

質(zhì)量流量計(jì)是一種熱導(dǎo)式儀表早在本世紀(jì)初，托馬斯（Thomas）提出了它的原型，后幾經(jīng)變革慚趨完善。目前許多國(guó)家有這類流星計(jì)的工業(yè)產(chǎn)品，廠泛應(yīng)用于各個(gè)工業(yè)生產(chǎn)及科學(xué)實(shí)驗(yàn)的領(lǐng)域。雖具體結(jié)構(gòu)各有差異，但其原理是基本*的。我國(guó)自1976年以來(lái)，也已有幾種產(chǎn)品陸續(xù)間世，較多地應(yīng)用于原子能工業(yè)及半導(dǎo)體制造工業(yè)。我們?cè)糜?0大氣壓微型催化反應(yīng)裝置中計(jì)量氫氣流量，己取得了成功的經(jīng)驗(yàn)。若能把它推廣應(yīng)用于石油、化工業(yè)的各個(gè)方面必將收到良好的效益。