產(chǎn)品介紹:
硅壓力傳感器芯片
應用
l 汽車輪胎壓力監(jiān)測
l 發(fā)動機控制
l 大氣壓力測量
l 空壓表
l 手執(zhí)壓力計
特色
l 固態(tài)、MEMS技術、高可靠性
l 低成本、小尺寸
l 標準壓力范圍:0-100KPa; 0-700KPa
l 非線性 < 0.20%FSO
l 硅/硅鍵合芯片,穩(wěn)定性好
描述
可提供小型壓阻壓力傳感器芯片,其尺寸為1x1mm2。當用3VDC供電時,傳感器產(chǎn)生毫伏輸出電壓,正比于輸入壓力。壓力傳感器芯片為絕壓模式。
硅壓力傳感器芯片技術指標
除非特別指出,所有參數(shù)在5V供電及室溫下測得。
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| 最小值 | 典型值 | 值 | 單位 | 備注 |
激勵電壓 |
|
| 5.0 |
| V |
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激勵電流 |
|
| 1 |
| mA |
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滿量程輸出(FS) | 700kpa | 90 | 100 | 110 | mV |
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零位輸出 |
| 0 |
| 25 | mV | 注1 |
滿度溫度系數(shù) |
| -24 | -19 | -15.5 | %FS/100℃ | 恒壓供電 |
零位溫度系數(shù) |
| -7 |
| +7 | %FS/100℃ |
|
電阻溫度系數(shù) |
| +19 | +24 | +28 | % /100℃ |
|
線性 |
| -0.45 | -0.15 | +0.45 | %FS |
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橋阻抗 |
|
| 5 |
| KΩ | 注2 |
過載壓力 |
| 2X |
|
| 額定FS |
|
破壞壓力 |
| 4X |
|
| 額定FS |
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工作溫度 |
| -40 |
| +125 | ℃ |
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存儲溫度 |
| -55 |
| +150 | ℃ |
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注1:一個大氣壓下,5V供電,電橋輸出。
注2:同一硅片上,電阻偏差<±0.4KΩ。