主要特性 | 最小值 | 典型值 | 值 | 單位 |
流量范圍 | +200 | SLPM | ||
供電電壓 | 8 | 10 | 15 | VDC |
功率損耗 | 60 | MW | ||
標(biāo)定氣體 | 空氣 | |||
線(xiàn)性誤差 | ±0.3 | %讀數(shù) | ||
反應(yīng)時(shí)間 | 6 | ms | ||
操作溫度 | -25 | +85 | ℃ | |
儲(chǔ)存溫度 | -40 | +90 | ℃ | |
重復(fù)性和遲滯 | ±0.5 | %讀數(shù) |
流量參數(shù)
流量(SLPM) 典型值(VDC) 公差(VDC) 壓降(英寸水柱) 0 1.00 0.05 0 25 2.99 -- 0.04 50 3.82 0.18 0.13 75 4.30 -- 0.21 100 4.58 -- 0.34 150 4.86 -- 0.65 200 5.00 0.36 1.09