EFEM -Equipment Front End Module
基于 MES 系統(tǒng)通過 SECS/GEM 傳輸指令或手 動輸入指令對 WAFER 進行傳送和定位,兼容 多種通訊協(xié)議,與 PVD,CVD,ETCH 等設備配套;
- 采用高性能晶圓傳送機器人,路徑設計,實現(xiàn)高效傳送;
- 與多規(guī)格制程設備配套,兼容多種通訊協(xié)議,無縫式簡易連接;
- 集有 MES 模塊的控制系統(tǒng)實現(xiàn)與工廠信息系統(tǒng)連接,可遠程檢索與控制;
技術(shù)參數(shù)