Wafer Inspection and Sorter Machine
采用高性能雙臂潔凈機器人實現(xiàn) 8/12 吋晶圓分選,配置 Olympus 高倍顯微鏡及 CCD 視 覺系統(tǒng)實現(xiàn)晶圓正面及背面的缺陷檢查。
設(shè)備特點
- 兼容 SEMI 標準 Foup/Open Cassette,采用旋轉(zhuǎn)loadport 對應(yīng) SEMI Standard FOSB;
- 具備 RFID reader 和 bar-code reader 功能;
- 配置 Olympus 高倍顯微鏡及 CCD 視覺系統(tǒng)實;
- 現(xiàn)晶圓正面及背面的缺陷檢查。
- 可視化操作,雙顯示屏界面,操作簡便;
- 具有 MES 模塊的軟件系統(tǒng)可與 CIM 系統(tǒng)無縫鏈接;
技術(shù)參數(shù)