濺射薄膜壓力傳感器采用應(yīng)變式測(cè)量原理,選用優(yōu)質(zhì)沉淀硬化不銹鋼作為彈性元件,使用離子束濺射沉積工藝在彈性元件表面制作多層復(fù)合膜,采用光刻、離子束刻蝕等工藝制作成薄膜式壓力敏感芯體。該敏感元件具有高準(zhǔn)確度、高穩(wěn)定性、溫度性能優(yōu)良、應(yīng)用溫度范圍寬等特點(diǎn)。傳感器整體采用不銹鋼密封結(jié)構(gòu),具有很好的電磁屏蔽效果;內(nèi)部元器件、引線均經(jīng)特殊加固處理,具備較強(qiáng)的耐惡劣環(huán)境能力。
主要性能指標(biāo):
1. 量程:0~100MPa(表壓);
2. 使用溫度范圍:-200℃~+200℃(非水冷)、1℃~+700℃(水冷)
3. 精度: ±0.1%FS、±0.2%FS,±0,5%FS
4 測(cè)量介質(zhì):任何能與17-4PH不銹鋼兼容的氣體和液體