硅基傳感器系統(tǒng)公司的MEMS微機電陀螺為震動結(jié)構(gòu)VSG類型,由深反應(yīng)離子蝕刻技術(shù)(DRIE)制成八對互相支撐且對稱的“狗腿”型環(huán),這種蝕刻技術(shù)與環(huán)形具備優(yōu)秀的熱穩(wěn)定性和優(yōu)秀的公差限值與精度平衡性。與其他類型MEMS相比,避免了微小間隙造成的靜摩擦力干擾。這種硅基傳感器公司里程碑式的設(shè)計,使產(chǎn)品的線性偏移與比例因子指標對溫度變化和震動免疫。另一個好處是天然的對“加速度誘導(dǎo)率誤差”免疫,避免了MEMS的G值敏感性。
執(zhí)行元件與傳感器位于環(huán)形結(jié)構(gòu)上表面并連接到側(cè)面引線盤,驅(qū)動蝕刻環(huán)激發(fā)共振,探測無論是因為科里奧利力或者是執(zhí)行元件驅(qū)動造成的徑向運動。融合傳感器技術(shù)與二次拾取傳感器的使用極大的提高了信噪比,這種低噪聲設(shè)計提高了零偏穩(wěn)定性和角度隨機游走ARW精度。
公司介紹:
硅基傳感器系統(tǒng)公司是一家高度專業(yè)的陀螺與慣性傳感器工程設(shè)計與制造公司,位于英國西南部的普利茅斯,該市為英國傳統(tǒng)的基地,具備悠久的精密設(shè)備制造傳統(tǒng)。公司成立于1999年,由聯(lián)合技術(shù)航天系統(tǒng)公司(UTC Aerospace Systems)和住友精密工業(yè)(Sumitomo Precision Products)各占50%合資組成。公司具備聯(lián)合技術(shù)公司繼承的斯佩里陀螺技術(shù)公司慣性原件設(shè)計能力和住友的硅基精密加工能力。經(jīng)過15年的發(fā)展,硅基傳感器系統(tǒng)公司已經(jīng)成為可靠的陀螺與加速度計制造企業(yè)。
執(zhí)行元件與傳感器位于環(huán)形結(jié)構(gòu)上表面并連接到側(cè)面引線盤,驅(qū)動蝕刻環(huán)激發(fā)共振,探測無論是因為科里奧利力或者是執(zhí)行元件驅(qū)動造成的徑向運動。融合傳感器技術(shù)與二次拾取傳感器的使用極大的提高了信噪比,這種低噪聲設(shè)計提高了零偏穩(wěn)定性和角度隨機游走ARW精度。
公司介紹:
硅基傳感器系統(tǒng)公司是一家高度專業(yè)的陀螺與慣性傳感器工程設(shè)計與制造公司,位于英國西南部的普利茅斯,該市為英國傳統(tǒng)的基地,具備悠久的精密設(shè)備制造傳統(tǒng)。公司成立于1999年,由聯(lián)合技術(shù)航天系統(tǒng)公司(UTC Aerospace Systems)和住友精密工業(yè)(Sumitomo Precision Products)各占50%合資組成。公司具備聯(lián)合技術(shù)公司繼承的斯佩里陀螺技術(shù)公司慣性原件設(shè)計能力和住友的硅基精密加工能力。經(jīng)過15年的發(fā)展,硅基傳感器系統(tǒng)公司已經(jīng)成為可靠的陀螺與加速度計制造企業(yè)。
