公司推出的新型 Z neox3D輪廓儀 在性能、功能、效率和設(shè)計(jì)方面優(yōu)于現(xiàn)有的3D光學(xué)輪廓儀,是ZERO的新一代測(cè)量系統(tǒng)。
?測(cè)量原理 | 共聚焦、PSI, ePSI, CSI, Ai 多焦面疊加和薄膜 |
觀察類型 | 明場(chǎng)、DIC、彩色、共聚焦、干涉相位對(duì)比 |
測(cè)量類型 | 圖像,3D, 3D膜厚、線輪廓和坐標(biāo) |
相機(jī) | 5Mpx: 2448x2048 像素 (60 fps) |
臺(tái)階精度 | 0.5% |
臺(tái)階重復(fù)性 | 0.1% |
顯示分辨率 | 0.001 nm |
拼接張數(shù) | 10x12(分辨率): 175x175(低分辨率)(500Mpx) |
共聚焦幀速 | 20 fps (5Mpx); 60 fps (1.2 Mpx) |
一般垂直掃面范圍 | 線性平臺(tái): 40mm 范圍;5nm 分辨率 |
精細(xì)垂直掃描范圍 | 帶有壓電掃描器; 200μm 范圍;0.5nm 分辨率 |
Z 測(cè)量范圍 | PSI 20µm; CSI 10mm; 共聚焦和 Ai多焦面疊加 34mm |
XY 工作臺(tái)范圍 | 手動(dòng):40x40 mm; 電動(dòng);114x75 mm, 154x154 mm, 255x215 mm, 302x302 mm |
LED光源 | 紅色(630納米); 綠色(530納米); 藍(lán)色(460納米)和白 色(575納米) |
環(huán)形照明 | 綠色環(huán)形燈與 6 孔位鼻輪兼容 |
鼻輪 | 6 孔位全電動(dòng) |
樣品反射率 | 0.05 % to |
樣品重量 | 25Kg |
樣品高度 | 40mm(標(biāo)準(zhǔn));150mm 和 350mm(可選) |
用戶管理權(quán)限 | 管理員,主管,高級(jí)操作員,操作員 |
高級(jí)軟件分析 | SensoMAP,SensoPRO, SensoMATCH, SensoCOMP(可選) |
功率 | 線電壓100-240 V AC; 頻率50/60 Hz單相 |
計(jì)算機(jī) | 的INTEL處理器; 3840x2160像素分辨率 (4K) (27”) |
操作系統(tǒng) | 64 位 Windows 10 操作系統(tǒng) |
重量7 | 61 千克( 134 磅) |
環(huán)境 | 溫度 10ºC至 35ºC; 濕度<80%RH; 海拔<2000米 |
的速度
精準(zhǔn)易用
功能靈活多樣
引導(dǎo)使用
擴(kuò)展測(cè)量模塊
出色的橫向和縱向分辨率