此款Z neox 5 3D刀具測(cè)量?jī)x結(jié)合了高精度旋轉(zhuǎn)模塊和Z neox3D光學(xué)輪廓儀的*檢測(cè)和分析功能在的位置上實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)地3D表面測(cè)量,并結(jié)合在一起,完成全表面的3D立測(cè)量。Zneox3D測(cè)量技術(shù)涵蓋了廣泛的尺度,包括輪廓變化(多焦面疊加技術(shù))、亞納米粗糙度(干涉測(cè)量技術(shù))或需要更高橫向分辨以及垂直分辨率(共聚焦技術(shù))的臨界尺寸。
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測(cè)量原理 | 共聚焦、PSI、ePS、CSI、 Ai 多焦面疊加和薄膜 |
觀察類型 | 明場(chǎng)、彩色、共聚焦、干涉相位對(duì)比 |
測(cè)量類型 | 圖像、3D、3D膜厚、線輪廓和坐標(biāo) |
相機(jī) | 5Mpx: 2448x2048 像素 (60 fps) |
臺(tái)階精度6 | 0.5% |
臺(tái)階重復(fù)性6 | 0.1% |
顯示分辨率 | 0.001nm |
拼接張數(shù) | 10x12(分辨率): 175x175(低分辨率)(500Mpx) |
共聚焦幀速 | 20 fps (5Mpx); 60 fps (1.2 Mpx) |
一般垂直掃描范圍 | 線性平臺(tái): 40mm 范圍;5nm 分辨率 |
精細(xì)垂直掃描范圍 | 帶有壓電掃描器; 200μm范圍;0.5nm分辨率 |
Z 測(cè)量范圍 | PSI 20µm; CSI 10mm; 共聚焦和 Ai多焦面疊加 34mm |
XY 工作臺(tái)范圍 | 電動(dòng);154x154 mm |
LED光源 | 紅色(630納米); 綠色(530納米); 藍(lán)色(460納米)和白色(575納米) |
環(huán)形照明 | 綠色環(huán)形燈與 6 孔位鼻輪兼容 |
鼻輪 | 6 孔位全電動(dòng) |
樣品反射率 | 0.05 % to |
樣品重量 | 3Kg |
用戶管理權(quán)限 | 管理員、主管、高級(jí)操作員、操作員 |
高階分析軟件選件 | SensoMAP,SensoPRO, SensoMATCH, SensoCOMP, Geomagic® |
功率 | 線電壓100-240 V AC; 頻率50/60 Hz單相 |
計(jì)算機(jī) | 的INTEL處理器; 3840x2160像素分辨率 (4K) (27”) |
操作系統(tǒng) | 64 位 Windows 10 操作系統(tǒng) |
外觀尺寸 長(zhǎng)X寬X高 | 945 x 635 x 610 mm (37.2 x 25.0 x 24.0 英寸) |
重量11 | 77 千克( 170 磅) |
環(huán)境 | 溫度 10ºC至 35ºC; 濕度<80%RH; 海拔<2000米 |
可以在的位置進(jìn)行全自動(dòng)3D 表面測(cè)量,并將所有測(cè)量結(jié)果組合在一起完成全表面的3D立體測(cè)量
系統(tǒng)可以在尖銳邊緣和關(guān)鍵表面上提供完整的形狀信息
neox 5旋轉(zhuǎn)臺(tái)允許樣品沿相反方向定位以使整個(gè)表面可見
系統(tǒng)將獲取單獨(dú)的測(cè)量值,然后將自動(dòng)合并它們以獲得完整 的3D立體測(cè)量