現(xiàn)有機(jī)型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。
"Regulus系列"繼承了現(xiàn)有機(jī)型的觀察和分析性能,配備SU8200系列的低噪音冷場發(fā)射電子槍*1,可以獲得高穩(wěn)定的束流。
發(fā)射掃描電子顯微鏡通過優(yōu)化電子光學(xué)系統(tǒng),Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.9 nm,Regulus8100的分辨率提高到1.1 nm,觀察性能與現(xiàn)有機(jī)型相比提高了20%左右。
此外,為充分發(fā)揮超高分辨的能力,放大倍率也從過去的100萬倍提升到200萬倍*1。
Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能,通過此功能用戶更容易理解各種復(fù)雜信號的檢測原理,幫助用戶充分發(fā)揮儀器的性能。
*1
*Regulus8240/8230/8220
發(fā)射掃描電子顯微鏡特色
- 沿用"SU8200系列"的冷場發(fā)射電子槍*2
- 采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間,使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的佳性能
- 與現(xiàn)有機(jī)型相比分辨率提高了20%左右
(Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV、Regulus8100: 1.1 nm/1 kV) - 采用污染小、高真空樣品倉
- 運(yùn)用能量過濾器(選配),可觀察到多種成分對比度*2