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      微波等離子清洗機(jī)

      參考價(jià)面議
      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      • 公司名稱那諾中國有限公司
      • 品       牌
      • 型       號
      • 所  在  地上海市
      • 廠商性質(zhì)
      • 更新時間2020/11/30 15:07:41
      • 訪問次數(shù)710
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      清洗機(jī)
      微波等離子清洗機(jī)具有*的能力:可以從PE等離子刻蝕切換到RIE刻蝕模式,也就是說可以支持各向同性和各向異性的各種應(yīng)用。
      微波等離子清洗機(jī) 產(chǎn)品信息

      NANO-MASTER 等離子清洗和灰化系統(tǒng)是專門設(shè)計(jì)用來滿足晶圓批處理或者單晶片處理的廣泛應(yīng)用,從晶圓的光刻膠剝離到表面改性都涉及到。該系列的設(shè)備采用PC控制,微波等離子清洗機(jī)可以配套不同的等離子源,加熱或不加熱基片夾具,具有*的能力:可以從PE等離子刻蝕切換到RIE刻蝕模式,也就是說可以支持各向同性和各向異性的各種應(yīng)用。

      儀器的選配:

      • 真空泵  真空泵組,如,抽吸能力大250m3/h
      • 氣路:額外的數(shù)字顯示質(zhì)量流量控制器(可支持到4路)
      • 旋轉(zhuǎn)臺:鋁,直徑350mm,速度可調(diào)
      • ECR(電子回旋共振):鋁、支架配置永磁體

      NPC-4000微波等離子清洗機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn):

      • 緊湊型立式系統(tǒng)
      • 自動上下載片
      • 帶Load Lock
      • 不銹鋼、鋁制腔體或鐘罩式耐熱玻璃腔
      • 兼容100級超凈間使用
      • 淋浴頭、ICP或微波等離子源
      • 旋轉(zhuǎn)樣品臺
      • RF偏壓可PID控制加熱到300 °C或冷卻的樣品臺
      • 全自動或手動RF調(diào)諧
      • zui多可支持8個MFC帶電拋光的氣體管路
      • PC計(jì)算機(jī)控制的氣動閥
      • 帶密碼保護(hù)的多級訪問控制
      • 基于LabView軟件的PC計(jì)算機(jī)全自動控制
      • 機(jī)械泵的壓力可達(dá)到10mTorr
      • 250 l/s的渦輪分子泵
      • 極限真空為5x10-7Torr
      • 完整的安全聯(lián)鎖
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