設(shè)備簡介
機械手做為晶片搬運和鍍膜工藝過程轉(zhuǎn)換中的執(zhí)行元件,在半導(dǎo)體行業(yè)中廣泛應(yīng)用。該產(chǎn)品采用*的結(jié)構(gòu),提高了手臂的剛性,并有效抑制振動,輕量化設(shè)計滿足高速要求。具有多重安全保護功能。肘部和腕部靈活控制,更節(jié)省空間,適應(yīng)性更強。是半導(dǎo)體行業(yè)*關(guān)鍵部件之一。
技術(shù)參數(shù)
結(jié)構(gòu)形式 | 柱坐標型/SCARA型 | |
負載 | 名稱 | 晶圓 |
直徑 | Φ200mm/Φ300mm | |
重量 | ≤0.5kg | |
自由度數(shù) | 3 | |
大回轉(zhuǎn)直徑 | 520mm | |
運動范圍 | 升降軸 (Z軸) | 50mm |
回轉(zhuǎn)軸 (T軸) | 360° | |
伸展軸 (R軸) | R750mm | |
大速度 | 升降軸 (Z軸) | 300mm/s |
回轉(zhuǎn)軸 (T軸) | 360° | |
伸展軸 (R軸) | 800mm/s | |
重復(fù)定位精度 | 升降軸 (Z軸) | ±0.1 mm(3σ) |
回轉(zhuǎn)軸 (T軸) | ±0.01°(3σ) | |
伸展軸 (R軸) | ±0.1 mm(3σ) |