真空封焊爐主要用于石英管真空封焊工藝、快速退火工藝。
技術(shù)參數(shù)
爐體結(jié)構(gòu) | 水平 |
爐膛適用大工藝管外徑 | Φ170mm (可定制) |
爐膛內(nèi)徑 | Φ190mm (可定制) |
加熱區(qū)數(shù) | 1段控制(可定制多段) |
工作溫度范圍 | <800℃ |
極限耐溫 | 1100℃ |
極限真空 | 1x10-4pa |
導(dǎo)軌設(shè)計(jì) | 根據(jù)工藝需求,可設(shè)計(jì)成爐體移動(dòng)或真空系統(tǒng)移動(dòng)的方案 |
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真空封焊爐主要用于石英管真空封焊工藝、快速退火工藝。
技術(shù)參數(shù)
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爐膛適用大工藝管外徑 | Φ170mm (可定制) |
爐膛內(nèi)徑 | Φ190mm (可定制) |
加熱區(qū)數(shù) | 1段控制(可定制多段) |
工作溫度范圍 | <800℃ |
極限耐溫 | 1100℃ |
極限真空 | 1x10-4pa |
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