(撕膜機)ADW-08 PLUS全自動晶圓撕膜,手動貼膜
ADW-08 PLUS半自動晶圓減薄后撕膜機特點:
·*設計的機械手撕膜技術,無耗材撕膜;
·全自動撕膜和收集廢膜;
·手動放置和取出晶圓,或帶承載環(huán)貼膜的晶圓;
·8”陶瓷晶圓臺盤可以匹配8”晶圓/承載環(huán);
·12”陶瓷晶圓臺盤可以匹配12”晶圓/承載環(huán);
·基于PLC控制,帶5.7”觸摸屏;
·去離子風扇和ESD保護;
·UV膜&非UV膜能力;
·配置光簾保護功能,和緊急停止按鈕;
·三色燈塔和蜂鳴器用于操作狀態(tài)監(jiān)控;
AMSEMI半自動晶圓減薄后撕膜機ADW-08 PLUS規(guī)格:
晶圓直徑 8”& 12”晶圓;
晶圓厚度 100~750微米; 撕膜原理
晶圓種類 硅, 砷化鎵或其它材料;
單平邊,雙平邊,V型缺口;
BG膜種類 藍膜,或UV膜;
撕膜角度 < 45° → 0°;
撕膜臺盤溫度 室溫~ 150℃可控;
撕膜方式 機械手撕膜技術,無需任何耗材;
裝卸方式 手動放置與取出晶圓或貼膜晶圓/承載環(huán);
防靜電控制 去離子風扇;
控制單元 基于PLC 控制,帶5.7”觸摸屏;
安全保護 配置緊急停機按鈕;
電源電壓 單相交流電220V,16A;
壓縮空氣 60 PSI清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘2立方英尺;
機器外殼 白色噴塑金屬外殼;
體積 1350毫米(寬)*880毫米(深)*1560毫米(高);
凈重 400公斤;
ADW-08 plus半自動晶圓減薄后撕膜機性能
撕膜質(zhì)量 無裂紋、無破碎、無劃傷;
每小時產(chǎn)能 ≥ 60片晶圓;
MTBF >168小時;
MTTR <1小時;
停機時間 <3%
AMSEMI半自動晶圓減薄后撕膜機ADW-08 PLUS相關產(chǎn)品:
衡鵬供應
半自動晶圓貼膜機(減薄前) ATW-08/ATW-12
半自動晶圓撕膜機(減薄后) ADW-08
半自動貼膜機 (基板切割) AMS-12
半自動晶圓貼膜機(預切割膜) AMW-08 AT
半自動晶圓貼膜機(切割膜) AMW-08/AMW-12