SORTER是一個(gè)工廠材料傳輸設(shè)備,是一個(gè)與SEMI標(biāo)準(zhǔn)兼容的界面系統(tǒng),可以手動(dòng)或者配合AGV或OHT的承載水平傳輸晶圓。該系統(tǒng)提供單線接口供工廠控制,充裕的傳輸間距與工廠交互和簡(jiǎn)單的方式供人工服務(wù)。占地面積小,采用無(wú)X軸的雙臂機(jī)械手,通過(guò)雙軸復(fù)合運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)取放片,*的提高了傳片效率的同時(shí)而又降低了產(chǎn)品維護(hù)成本。內(nèi)部全新的氣體導(dǎo)流結(jié)構(gòu),保證內(nèi)部空間潔凈度能夠滿足iso class 1級(jí)別,保證晶圓傳輸過(guò)程的潔凈度。內(nèi)部帶有多重互鎖保護(hù),從軟件到硬件,多重保證晶圓傳輸過(guò)程中的安全,人員與設(shè)備的安全。
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