Inspect F50 是一款經(jīng)典的場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡。
技術(shù)參數(shù):
1.燈絲: 超高亮度Schottky場(chǎng)發(fā)射燈絲
2.分辨率:1.0 nm @ 30 kV, 3.0 nm @ 1 kV
二次電子:
1.0 nm @ 30 kV, 3.0 nm @ 1 kV
減速模式 2.3nm @ 1kV, 3.1nm @ 200V (可選項(xiàng))
背散射電子:
2.5nm @ 30kV
3.加速電壓:200 V - 30 kV, 連續(xù)可調(diào)
4.探測(cè)器:E-T二次電子探測(cè)器,可選背散射探測(cè)器
5. 50x50mm 4軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)全對(duì)中樣品臺(tái)
主要特點(diǎn):
1.分子泵 + 離子泵真空系統(tǒng)
2.高穩(wěn)定性、超高亮度場(chǎng)發(fā)射燈絲,滿足高分辨觀察和微觀分析的要求
3.可選FEI*的STEM探測(cè)器,分辨率達(dá)到0.8nm
4.穩(wěn)定的大束流(zui大200nA)確保高速、準(zhǔn)確的能譜、波譜和EBSD分析
5.Windows XP操作系統(tǒng)