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EMS 150膜厚監(jiān)控儀

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公司名稱(chēng)海德創(chuàng)業(yè)（北京）生物科技有限公司
品牌
型號(hào)EMS150
所在地北京市
廠商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商
更新時(shí)間2020/8/1 14:28:59
訪問(wèn)次數(shù)266

產(chǎn)品標(biāo)簽:

膜厚監(jiān)控儀

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

海德創(chuàng)業(yè)(北京)生物科技有限公司，簡(jiǎn)稱(chēng)海德生物。它的誕生，緣于幾個(gè)不甘寂寞、立志在生物領(lǐng)域做出一番事業(yè)的年輕人。共同的理想、共同的目標(biāo)，使大家凝聚在海德創(chuàng)業(yè)的旗幟之下，認(rèn)認(rèn)真真做事，老老實(shí)實(shí)做人。

海德生物代理國(guó)外產(chǎn)品的同時(shí)，也在某些領(lǐng)域進(jìn)行著積極的探索和研究，它將會(huì)不斷的把自己較好的較早的產(chǎn)品提供給您。

海德生物是一個(gè)朝氣蓬勃、積極向上、富有活力的年輕企業(yè)。良好的企業(yè)文化、完善的管理體系、健全的客戶網(wǎng)絡(luò)、創(chuàng)新的戰(zhàn)略構(gòu)想、強(qiáng)大的人才優(yōu)勢(shì)為我們的發(fā)展奠定了良好的事業(yè)基礎(chǔ)。不怕做不到，就怕想不到。如果您科研中需要幫助，請(qǐng)找我們；如果您有好的創(chuàng)意或想法，請(qǐng)聯(lián)系我們。

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EMS 150 膜厚監(jiān)控儀(Film Thickness Monitor)和噴金儀/離子濺射儀/噴碳儀/蒸發(fā)鍍膜儀配套使用，以便對(duì)膜厚進(jìn)行監(jiān)控。提供內(nèi)置模塊和外接裝置。

EMS 150膜厚監(jiān)控儀產(chǎn)品信息

EMS 150 膜厚監(jiān)控儀（Film Thickness Monitor）和噴金儀/離子濺射儀/噴碳儀/蒸發(fā)鍍膜儀配套使用，以便對(duì)膜厚進(jìn)行監(jiān)控。提供內(nèi)置模塊和外接裝置。

石英是離子型的晶體，當(dāng)發(fā)生拉伸或壓縮時(shí)能產(chǎn)生電極化現(xiàn)象，稱(chēng)為壓電，這是因?yàn)槠浣Y(jié)晶點(diǎn)陣的有規(guī)則分布所致。石英晶體壓電效應(yīng)的固有頻率不僅取決于其幾何尺寸，切割類(lèi)型，而且還取決于芯片的厚度。當(dāng)芯片上鍍了某種膜層后，芯片的厚度增大，則芯片的固有頻率會(huì)相應(yīng)的衰減。膜厚監(jiān)控儀就是通過(guò)測(cè)量頻率或與頻率有關(guān)的參量的變化而監(jiān)控淀積薄膜的厚度。

膜厚監(jiān)控儀（FTM）是如何工作的呢？鍍膜時(shí)，膜厚監(jiān)控儀里面的晶振片的高速振動(dòng)，測(cè)試每秒鐘振動(dòng)次數(shù)的改變，從所接受的數(shù)據(jù)中計(jì)算膜層的厚度。

儀器參數(shù)：

儀器尺寸	300mm （W） x 150mm （D） x 75mm （H）
重量	6Kg
可配套儀器	EMS 450, EMS 550, EMS 575, EMS 650, EMS 675, EMS 950, and the EMS 975
晶片座	置晶片裝置
密度范圍	1.55 to 23.0g/cm^-3
測(cè)控范圍	5 to 999nm
鍍碳時(shí)精度	0.8nm
鍍金時(shí)精度	0.1nm
電源	230V 50 Hz （3 Amp Max）

訂購(gòu)信息：

貨號(hào)	產(chǎn)品名稱(chēng)	規(guī)格
91006	EMS 150 Film Thickness Monitor complete with terminate unit including crystal holder and fitted crystal. Standalone.	臺(tái)
91006-M	EMS 150 Film Thickness Monitor Built-in Module	臺(tái)
91008	Spare Crystals	盒
91009	Spare Glass Cylinder	個(gè)