原理:通過等離子體與固體表面的相互作用,消除固體表面的有機(jī)污染物,固體如:金屬、陶瓷、玻璃、硅片等等,同時可以用等離子處理系統(tǒng)對樣品表面進(jìn)行處理,改善樣品表面的特性,如親水/疏水特性,表面自由能,以及表面的吸附/粘附特性等等。 1050型射頻等離子處理儀(Plasma Asher)的等離子處理單元由固態(tài)射頻發(fā)生器結(jié)合調(diào)諧電路組成。同時兩種處理氣體流量針閥監(jiān)控,全部或部分通氣口控制。 應(yīng)用領(lǐng)域:
儀器性能:
技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品信息:
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