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產(chǎn)品功能
對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、共面性、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、蝕刻情況、彎曲變形情況、加工情況、材料支撐率等表面形貌特征進行測量和分析。被測物體的尺寸通常不大于150*100mm，更大尺寸的測量系統(tǒng)可以定做；工作臺zui大承載重量40Kg。
產(chǎn)品廣泛應用于汽車工業(yè)、航空航天、造紙工業(yè)、鋼鐵工業(yè)、薄膜加工、半導體加工、MEMS等行業(yè)。
應用范圍
* 機械密封的平面度和粗糙度測量；
* 電子元件表面的平面度、翹曲度和粗糙度測量分析；
* BGA焊料球的共面性、封裝是否變形以及所有的焊料球是否都存在的檢查分析；
* 造紙行業(yè)對紙張表面的紋理分析；
* 膜片的厚度及涂層的高度測量等；
* 化學蝕刻產(chǎn)品的蝕刻深度和面積測量；
* 壓花材料表面特征分析，如合成材料人造皮革表面形貌測量分析；
* 絲印裝置涂層厚度測量，如電子產(chǎn)品和生物科研等；
* 軋制鋁膜和鋼板表面情況進行三維分析；
* 法醫(yī)學上三維表面形貌測量分析；
* 壓電陶瓷部件的輪廓和表面形貌特征測量分析；
* 牙齒的腐蝕和磨損情況分析；
* 醫(yī)學上如人造皮膚的輪廓分析；
* 溝槽深度和截面計算分析；
* 激光蝕刻表面的雕刻深度測量；
* 各種柔軟材料、易腐蝕材料、傳統(tǒng)接觸方式無法檢測的產(chǎn)品的表面形態(tài)測量和分析；
* 其他各種小型部件的平面度、粗糙度、波紋度和輪廓測量分析。
產(chǎn)品介紹
英國Scantron Industrial Products Ltd公司生產(chǎn)的Proscan 2000光學式表面粗糙度輪廓形貌儀，采用非接觸式傳感器掃描技術，用于對各種產(chǎn)品和部件的表面形貌特征進行測量和分析，它比傳統(tǒng)的探針式輪廓儀操作更方便，測量精度更高。由于采用非接觸無損的測量方式，避免了對被測物體造成劃痕和磨損，尤其適用于各種柔軟材料、易腐蝕材料和傳統(tǒng)方式無法檢測的表面形態(tài)測量和分析。
Proscan 2000光學式表面粗糙度輪廓形貌儀zui大掃描速度可達到80mm/秒，每秒2000個數(shù)據(jù)點，每行可掃描20000個獨立的數(shù)據(jù)點，垂直測量分辨率zui高可達到5nm，zui小測量范圍0-110μm，zui大測量范圍0-50mm。
Proscan 2000以花崗巖為工作平臺，是快速、精準、非接觸式的三維表面形態(tài)測量儀器。廣泛應用于各種表面輪廓和形貌特征精確測量分析的場合。高性能非接觸式光學傳感器掃面范圍是150mm（長）X100mm（寬），使用色差傳感器，每秒可測量1000個數(shù)據(jù)點，使用三角激光傳感器每秒可測量10000個數(shù)據(jù)點，對被測件平面的掃描點數(shù)zui多可達576萬個數(shù)據(jù)點。配套軟件可以對各種測量參數(shù)進行分析。
產(chǎn)品特點
* 花崗巖框架結(jié)構，受熱脹冷縮影響非常小，基本沒有振動。
* 配套軟件可以以二維或三維的方式對數(shù)據(jù)進行形貌分析。
* 數(shù)據(jù)分析結(jié)果方便導出，導出格式有ASCII、ZZZZ...LF及XYZLF...CR’a’等。
* 數(shù)據(jù)分析也可選擇二維X-Y平面視圖，還具有三點平面修正和自動水平功能。
評定參數(shù)
Am 輪廓算術平均值
Ra 輪廓算術平均偏差
Rz（DIN） 峰谷高低平均值
Rz（ISO） 微觀不平度十點高度
Rmax 輪廓zui大高度
Rp 平均輪廓波峰高度
Rq 粗糙度均值平均方根
Rpm 峰值高度zui大值
Rvm 谷值深度zui大值
R3z 算術平均第三峰谷間高度
Wt 波形深度總值
Pt 輪廓深度總值
Nr 峰值計數(shù)歸一
Tpa 材料支撐率（宏）
D 峰值密度
S 輪廓單峰平均間距
Sm 輪廓微觀不平度平均間距
Lm 取樣長度
共面性
Warpage濾波器，過濾表面粗糙度數(shù)據(jù)，而僅保留輪廓數(shù)據(jù)
Surface濾波器，過濾表面輪廓數(shù)據(jù)，而僅保留粗糙度數(shù)據(jù)
對單點進行編輯
在X和（或）Y軸上進行插值
半徑計算
體積計算
表面積計算
截面積計算
三維輪廓顯示
技術規(guī)范
| 掃描儀zui大尺寸（長*寬*高） | 740*542*（780-835）mm |
| 掃描儀zui大重量 | 40Kg |
| 電控部分尺寸 | 570*700*750mm |
| 電控部分重量 | 40Kg |
| 計算機顯示器 | 15” LED顯示器 |
| 照明與定位攝像頭（可選） | 14” CRT |
| 掃面平臺尺寸 | 380*280mm |
| X和Y軸行程 | 150mm*100mm |
| Z軸行程 | 100mm |
| 電源 | 220 - 240 VAC, 50/60Hz |
| 使用環(huán)境 | 10-35℃ |
| X及Y軸掃描點zui小間隔距離 | 1μm |
| X及Y軸掃描點zui大間隔距離 | 9.999mm |
| 標準配置掃描樣品zui大重量 | 6Kg |
| 數(shù)據(jù)采集zui大速度（取決于傳感器及設定） | 20000點/秒 |
| zui大掃描速度（取決于傳感器及設定） | 80mm/秒 |
| 回程速度 | 100mm/秒 |
| zui大掃描點數(shù) | 576萬點 |
傳感器選型方案
| 傳感器 型號 | 垂直 測量范圍 | 物鏡測量距離 mm | 分辨率 | 線性度 （%+/-量程） | 技術 原理 |
| S3/011 | 110μm | 3.3 | 5 nm | 0.1 | 白光色差技術 |
| S11/03 | 300μm | 11 | 12 nm | 0.1 | 白光色差技術 |
| S13/1.1 | 1.1 mm | 12.7 | 25 nm | 0.1 | 白光色差技術 |
| S16/2.5 | 2.5mm | 16.4 | 75 nm | 0.1 | 白光色差技術 |
| S29/10 | 10mm | 29 | 280 nm | 0.1 | 白光色差技術 |
| S20/20 | 20mm | 19.6 | 600 nm | 0.1 | 白光色差技術 |
| L25/2H | 2 mm | 25 | 0.1 μm | 0.05 | 三角測量技術 |
| L35/10H | 10 mm | 35 | 0.5 μm | 0.03 | 三角測量技術 |
| L50/20H | 20 mm | 50 | 1 μm | 0.03 | 三角測量技術 |
| L70/50H | 50 mm | 70 | 2.5 μm | 0.03 | 三角測量技術 |
各種可選項
* 照明與定位攝像頭，用于小型部件的定位和缺陷檢查；
* 其他各種傳感器；
* 仿制材料，用于對不容易進入的區(qū)域和對表面測量有困難的場合；
* 比標準的X和Y行程范圍更大的測量平臺。
產(chǎn)品尺寸圖
應用舉例
一、電子元件的形貌檢查
電子元件的原貌
對單個BGA的掃描結(jié)果
*檢測BGA（包括穴距）和倒裝芯片的包裝情況，自動分析共面性、球面高度、球的位置和包裝扭曲情況；分析絲焊高度和輪廓；亞微米級分辨率，三維圖形顯示平均、zui大和zui小深度。
二、部件表面粗糙度測量
被測部件原貌
掃描后的結(jié)果分析
精確分析被測部件的表面紋理、波面度和形態(tài)特征，符合ISO和DIN的粗糙度參數(shù)分析標準，包括Ra、Rz、Rmax、Rq、Rvm、Rpm、Pt、Nr、D、Sm、Wt和Tpa等?？蓽y量出平面度、表面積、體積、承載比和部件的精確尺寸。
三、紙張類表面的紋理分析
掃描前的產(chǎn)品原貌
掃描后的分析圖
對板材類、紙張類產(chǎn)品的表面進行紋理和形貌特征分析，自動計算各種表面分析的參數(shù)，如Ra、Rz、Rmax、Rvm、Rpm、Sm和材料比等，測量速度快，結(jié)果準確，操作簡單。
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光學式表面粗糙度輪廓形貌儀2000.pdf
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