智能制造網(wǎng)>產(chǎn)品庫(kù)>儀器儀表>分析儀器>其它分析儀器>>微位移測(cè)量激光干涉儀ZLM800

微位移測(cè)量激光干涉儀ZLM800

參考價(jià)	面議

參考價(jià)

面議

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱(chēng)上海貝丁漢工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備有限公司
品牌
型號(hào)
所在地上海市
廠商性質(zhì)代理商
更新時(shí)間2020/6/26 15:26:11
訪問(wèn)次數(shù)597

產(chǎn)品標(biāo)簽:

微位移測(cè)量激光干涉儀雙頻激光干涉儀

在線詢(xún)價(jià)收藏產(chǎn)品點(diǎn)擊查看電話

聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是智能制造網(wǎng) 上看到的信息，謝謝!

索取相關(guān)資料

公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

上海貝丁漢工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備有限公司(意大利帕瓦內(nèi)稱(chēng)重系統(tǒng)有限公司中國(guó)聯(lián)絡(luò)處)——主要從事工業(yè)自動(dòng)化儀器儀表、機(jī)械設(shè)備、電子產(chǎn)品、五金交電及其配件等的銷(xiāo)售和技術(shù)服務(wù)工作。我們致力于將歐美*的工業(yè)自動(dòng)化儀器儀表和機(jī)械設(shè)備介紹到中國(guó)，滿(mǎn)足中國(guó)各行業(yè)市場(chǎng)對(duì)工業(yè)產(chǎn)品的需要。

我們經(jīng)營(yíng)產(chǎn)品主要包括稱(chēng)雙頻激光干涉儀、多點(diǎn)溫度測(cè)量?jī)x、材料色散測(cè)量?jī)x、相位波前角色散測(cè)量?jī)x、載波包絡(luò)相位調(diào)諧儀、載波包絡(luò)相移測(cè)量?jī)x、激光對(duì)中儀、激光平面度測(cè)量?jī)x、激光同軸度測(cè)量?jī)x、激光孔位測(cè)量?jī)x、重傳感器、稱(chēng)重變送器、稱(chēng)重接線盒、PT100溫度變送器、熱電偶溫度變送器、電壓信號(hào)轉(zhuǎn)換器、電流信號(hào)轉(zhuǎn)換器、頻率變送器、模擬信號(hào)-頻率轉(zhuǎn)換器、模擬量信號(hào)轉(zhuǎn)頻率信號(hào)等。

除實(shí)物產(chǎn)品外，我們還提供各種自動(dòng)化控制系統(tǒng)的成套設(shè)計(jì)、通訊程序編寫(xiě)及各種配套方案等技術(shù)支持，主要包括：稱(chēng)重配料控制系統(tǒng)解決方案、定量包裝控制系統(tǒng)解決方案、高精度溫度控制系統(tǒng)解決方案及各種計(jì)量控制系統(tǒng)解決方案。

我們的產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于機(jī)械和設(shè)備工程、汽車(chē)、倉(cāng)儲(chǔ)、輸送、印刷、門(mén)控、化工、冶金、石油、電力、水利、鋼鐵、輕工、制藥、造紙、制革、噴涂、水泥、玻璃、食品、陶瓷、化纖、塑料、飼料、煤炭、紡織、農(nóng)業(yè)和包裝等行業(yè)。歡迎您選購(gòu)我們代理經(jīng)銷(xiāo)的各種產(chǎn)品，我們將以飽滿(mǎn)的熱情，周到的服務(wù)，客戶(hù)*的原則，為您提供滿(mǎn)意的產(chǎn)品

展開(kāi)顯示更多內(nèi)容

雙頻激光干涉儀,多點(diǎn)溫度測(cè)量?jī)x,材料色散測(cè)量?jī)x,相位波前角色散測(cè)量?jī)x,激光平面度測(cè)量?jī)x,激光同軸度測(cè)量?jī)x,激光孔位測(cè)量?jī)x

產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢(xún)價(jià)

ZLM800微位移測(cè)量激光干涉儀--雙頻激光干涉儀，主要用于微位移部件的測(cè)量，角度變化量的監(jiān)測(cè)，移動(dòng)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)情況的檢測(cè)，及光刻機(jī)幾何量的測(cè)量，數(shù)控機(jī)床幾何量的測(cè)量，Z多實(shí)現(xiàn)六軸聯(lián)動(dòng)。

微位移測(cè)量激光干涉儀ZLM800 產(chǎn)品信息

產(chǎn)品功能
ZLM800微位移測(cè)量激光干涉儀——雙頻激光干涉儀，主要用于微位移部件的測(cè)量、角度變化量的監(jiān)測(cè)、移動(dòng)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)情況的檢測(cè)、光刻機(jī)幾何量的測(cè)量、數(shù)控機(jī)床幾何量的測(cè)量等，zui多可實(shí)現(xiàn)六軸聯(lián)動(dòng)。也可通過(guò)位移+偏擺+俯仰的三角關(guān)系測(cè)量檢測(cè)物體的振動(dòng)變化。

性能優(yōu)勢(shì) 技術(shù)參數(shù)

型號(hào)：ZLM800	使用高性能數(shù)據(jù)處理器AE950 PCI
He-Ne激光平均波長(zhǎng)：	632.8 nm
激光穩(wěn)頻精度：	一小時(shí)2x10^-9（±0.002ppm）壽命內(nèi)2x10^-8（±0.02ppm）
系統(tǒng)精度（0-40℃時(shí)）：	±0.4ppm
光束直徑：	6mm （可選3.2mm）
激光管突發(fā)zui大輸出功率：	1mW （激光等級(jí)2）
每束光可測(cè)量的軸數(shù)：	zui多6個(gè)
線性測(cè)量距離：	40m，可擴(kuò)展為120m
角度測(cè)量范圍：	± 15°，20m軸線范圍
平面度測(cè)量范圍：	20m行程
直線度測(cè)量范圍：	± 5mm，2m或10m行程，選用角度干涉儀可測(cè)30m行程
垂直度測(cè)量范圍：	± 5mm，2m或10m行程， 30m行程需用角度干涉儀
zui大速度：	4m/s，可選16m/s 80rad/s，角速度
zui大加速：	無(wú)限制
zui高采樣頻率：	內(nèi)部1MHz，外部40MHz
預(yù)熱時(shí)間：	10分鐘
精度/非線性：	±0.3nm （角隅反射鏡） ±0.1nm （平面反射鏡）
距離測(cè)量分辨率：	0.6nm （角隅反射鏡） 0.3nm （平面反射鏡） 0.1nm 可選
距離測(cè)量精度：（20°±0.5°）使用AUK時(shí) （20°±0.5°）真空中時(shí)	±0.4ppm （μ/m） ±0.08 （±0.02）ppm （μ/m）
線性度測(cè)量分辨率：	0.6nm （角隅反射鏡） 0.3nm （平面反射鏡） 0.1nm 可選
線性度測(cè)量精度：（20°±0.5°）使用AUK時(shí) （20°±0.5°）真空中時(shí)	±0.4ppm （μ/m） ±0.08 （±0.02）ppm （μ/m）
速度測(cè)量精度：	±0.5ppm實(shí)測(cè)值
角度測(cè)量分辨率：	0.015μrad （3x10^-3弧秒）
角度測(cè)量精度：	±0.1ppm實(shí)測(cè)值
平面度測(cè)量分辨率：	0.015μrad （3x10^-3弧秒）
平面度測(cè)量精度：	±0.2%實(shí)測(cè)值 ±0.05 弧度/米運(yùn)行距離
直線度測(cè)量分辨率：	36nm，10m行程 7.25nm，2m行程
直線度測(cè)量精度：	±0.5%實(shí)測(cè)值，2m行程 ± 2.5%實(shí)測(cè)值，10m行程
垂直度測(cè)量分辨率：	36nm，10m行程 7.25nm，2m行程
垂直度測(cè)量精度：	±0.5%實(shí)測(cè)值2m，± 0.5弧秒* ±2.5%實(shí)測(cè)值10m，± 0.5弧秒*
數(shù)據(jù)接口：	積分信號(hào) 32 Bit （實(shí)時(shí)時(shí)間） Dt » 20 ns
數(shù)據(jù)分析標(biāo)準(zhǔn)：	ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作環(huán)境：	溫度：15°C-30°C 濕度：<90%無(wú)冷凝
儲(chǔ)存環(huán)境：	溫度：10°C-40°C 濕度：<95%無(wú)冷凝

應(yīng)用案例

l 真正意義上的雙頻激光干涉儀，頻差為640MHz。請(qǐng)用戶(hù)注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”概念的區(qū)別，*雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩(wěn)定。世界范圍內(nèi)只有兩家雙頻激光干涉儀的生產(chǎn)商，德國(guó)耶拿爾公司是其中的一家。

l 全部部件皆在德國(guó)生產(chǎn)制造，絕非為了降低成本而在第三方國(guó)家進(jìn)行部件加工。光學(xué)組件全部采用蔡司光學(xué)鏡，是世界上*一家將*的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的產(chǎn)品制造商。

l 激光器壽命更長(zhǎng)，可達(dá)20000小時(shí)，激光穩(wěn)頻精度高，一小時(shí)內(nèi)為±0.002ppm，在產(chǎn)品壽命內(nèi)可達(dá)±0.02ppm。

l 干涉鏡采用差分干涉原理，系統(tǒng)精度更高，可達(dá)±0.4ppm。

l 計(jì)算機(jī)輔助光路調(diào)整，調(diào)整結(jié)果更準(zhǔn)確。

l 采樣頻率更快，zui高達(dá)1MHz，可在0.001Hz-1MHz之間進(jìn)行選擇。

l 被測(cè)物體zui大速度16m/s（可選）；采用高精度AE950 PCI數(shù)據(jù)處理器，分辨率達(dá)0.6nm（當(dāng)移動(dòng)速度為1m/s時(shí)，線性分辨率更可高達(dá)為0.1nm）。

l 無(wú)加速度限制；當(dāng)光線微弱時(shí)，性能也十分穩(wěn)定。

l 信號(hào)延時(shí)<200ns；對(duì)電磁干擾不敏感。

l 對(duì)于多軸聯(lián)動(dòng)的復(fù)雜光路測(cè)量和微位移測(cè)量，ZLM800型是理想的選擇。

以下是為*某項(xiàng)目設(shè)計(jì)的ZLM800雙頻激光干涉儀兩個(gè)應(yīng)用案例。在*個(gè)案例中，用兩個(gè)3軸角度干涉儀分別監(jiān)視兩個(gè)擺鏡的擺動(dòng)，實(shí)時(shí)測(cè)試兩個(gè)擺鏡對(duì)應(yīng)量（俯仰、偏擺和位移）的差異情況。在第二個(gè)案例中，用一個(gè)3軸角度干涉儀來(lái)測(cè)試擺鏡的鏡面擺動(dòng)情況，2個(gè)單軸位移干涉儀檢測(cè)一個(gè)兩軸位移平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)情況。

下述案例是為國(guó)內(nèi)某研究所某項(xiàng)目設(shè)計(jì)的ZLM800測(cè)量系統(tǒng)。用戶(hù)預(yù)先把被測(cè)物體放置在密閉箱中，密閉箱留有觀察窗口。所需要測(cè)量的數(shù)據(jù)是被監(jiān)視目標(biāo)Ⅰ、被監(jiān)視目標(biāo)Ⅱ的X、Y向的角度變化量，以及這兩個(gè)目標(biāo)在Z方向的相對(duì)變化量。

ZLM800部分光路圖示例和部件示意圖