德國(guó)aixACCT激光干涉儀
品牌介紹:
aixACCT是您在材料開(kāi)發(fā)和設(shè)備鑒定方面進(jìn)行電氣測(cè)試的合作伙伴,并通過(guò)提供新的測(cè)試概念和系統(tǒng)解決方案縮短了客戶新產(chǎn)品的上市時(shí)間。產(chǎn)品通過(guò)不斷創(chuàng)新,涵蓋從材料研究到原型測(cè)試以及生產(chǎn)過(guò)程中的質(zhì)量保證的整個(gè)范圍。多年來(lái)積累了豐富的設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)經(jīng)驗(yàn)以及技術(shù)知識(shí),通過(guò)不斷地研究發(fā)展,為客戶提供高品質(zhì)的產(chǎn)品及服務(wù)。
產(chǎn)品范圍:
德國(guó)aixACCT激光干涉儀、共振分析儀、放大器、傳感器、執(zhí)行器。
主要型號(hào):
TF 3000、TF 2000 E、TF 1000
相關(guān)產(chǎn)品介紹:
雙光束激光干涉儀
aixACCT Systems已將*的雙光束技術(shù)擴(kuò)展到可商用的雙光束激光干涉儀系統(tǒng),以進(jìn)行長(zhǎng)達(dá)8英寸的晶圓表征。
用于測(cè)量d 33的雙光束激光干涉儀(aixDBLI)提供經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的精度(x切割石英),max可達(dá)0.2 pm / V。該系統(tǒng)的主要特點(diǎn)是單次測(cè)量的采集時(shí)間僅為幾秒鐘?;谛碌臄?shù)據(jù)采集算法,測(cè)量速度提高了100倍。這使得*比較了以相同激發(fā)頻率記錄的薄膜的電氣和機(jī)械數(shù)據(jù)。由于差分測(cè)量原理,消除了樣品彎曲的影響,這是使用原子力顯微鏡(AFM)進(jìn)行此類測(cè)量的主要障礙。
測(cè)量:
-機(jī)電大信號(hào)應(yīng)變和極化測(cè)量。
-壓電小信號(hào)系數(shù)和介電常數(shù)與直流偏置電壓的關(guān)系。如果剛度值已知,則可以使用附加的aixPlorer軟件工具從這些值得出耦合系數(shù)。
-電氣和機(jī)電性能疲勞。
aixDBLI系統(tǒng)的*性能使其適用于6“晶片上的MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))設(shè)備的壓電和電氣可靠性測(cè)試。該系統(tǒng)的出色分辨率和可重復(fù)性優(yōu)于2%,可大規(guī)模生產(chǎn)。整個(gè)裝置包括位于減振室內(nèi)的光學(xué)組件,TF Analyzer 2000和一些附加的模擬電路。
技術(shù)數(shù)據(jù):
-解析度:1 pm經(jīng)過(guò)x-cut Quartz測(cè)試
-位移/應(yīng)變測(cè)量:50 Hz-5 kHz
100 mV至10 V
至25 V(可選)
-壓電d 33系數(shù):
偏壓 :(1 mHz至1 Hz)
100 mV至10 V
至25 V(可選)
小信號(hào):(1 kHz至10 kHz)
100 mV至10 V
-電致伸縮M 33:類似于d 33
-C(V)測(cè)量:
偏壓 :(1 mHz至1 Hz)
100 mV至10 V
至25 V(可選)
小信號(hào):(1 kHz至10 kHz)
100 mV至10 V