大晃開發(fā)的*形狀的螺桿（），它低速轉動連續(xù)排氣，真空度可達到１０-1Pa，它可稱為是劃時代的干式真空泵。 單級結構簡單，易于保養(yǎng)和維修，在排除凝聚性氣體，腐蝕性氣體和反應生成物的半導體工藝中以及在硅單晶制造的抽真空等領域也發(fā)揮著威力。
排気速度 ： １０００～７８０００ L/min
到達真空度 ： １０-1 Pa
口 徑 ： Φ４０～ Φ２００ mm
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